反射镜驱动设备、驱动该反射镜驱动设备的方法和制造该反射镜驱动设备的方法技术

本发明专利技术一个方面提供一种反射镜驱动设备，包括：反射镜部分，所述反射镜部分具有反射光的反射面；一对压电致动器部分，该对压电致动器部分布置在反射镜部分的两侧；多个连结部，所述多个连结部将压电致动器部分中的每一个的一端分别连接到反射镜部分的端部，所述反射镜部分的所述端部在沿着反射面且垂直于反射镜部分的旋转轴线的方向上远离所述旋转轴线；固定部，所述固定部支撑压电致动器部分中的每一个的另一端；和垂直运动限制结构，所述垂直运动限制结构限制反射镜部分的旋转轴线在垂直于反射面的方向上的平移运动，且垂直运动限制结构的一端连接到固定部，而所述垂直运动限制结构的另一端连接到反射镜部分。

【技术实现步骤摘要】
反射镜驱动设备、驱动该反射镜驱动设备的方法和制造该反射镜驱动设备的方法
本专利技术涉及一种反射镜驱动设备，具体地，涉及一种适用于光扫描中使用的光学偏转器的微反射镜装置的结构、一种驱动这种微反射镜装置的方法以及用于制造所述微反射镜装置的技术。
技术介绍
与为传统光扫描模块的多角镜相比，使用硅(Si)微细加工技术制造的微扫描器(在下文中称作“MEMS(微机电系统)扫描器”)的特征在于其紧凑的尺寸和减小的功率消耗。因此，期望MEMS扫描器具有从激光投影机到诸如光学相干断层扫描装置(OCT)等的光学诊断扫描器的宽范围的应用。存在驱动MEMS扫描器的各种方法，但是这些方法中的利用压电体的变形的压电驱动方法被期望作为用于以紧凑的系统获得大扫描角度的方法，这是因为该方法具有大扭矩但涉及简单的装置结构和简单的驱动电路。普通的压电微镜(压电MEMS扫描器)的结构如下所述。<扭杆的结构>普通的压电MEMS扫描器通常采用下述结构，在该结构中，与旋转轴线对准的扭杆连接到反射镜且扭杆通过多个压电悬臂扭转(参见日本专利申请公开出版物第2008-257226号、第2009-169089号和第2005-本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜驱动设备，包括：反射镜部分，所述反射镜部分具有反射光的反射面；一对压电致动器部分，该对压电致动器部分被布置在所述反射镜部分的两侧；多个连结部，所述多个连结部将所述压电致动器部分中的每一个的一端分别连接到所述反射镜部分的端部，所述反射镜部分的所述端部在沿着所述反射面且垂直于所述反射镜部分的旋转轴线的方向上远离所述旋转轴线；固定部，所述固定部支撑所述压电致动器部分中的每一个的另一端；和垂直运动限制结构，所述垂直运动限制结构限制所述反射镜部分的旋转轴线在垂直于所述反射面的方向上的平移运动，所述垂直运动限制结构的一端连接到所述固定部，而所述垂直运动限制结构的另一端连接到所述反射镜部分。

【技术特征摘要】
2011.09.08 JP 2011-1962951.一种反射镜驱动设备，包括：反射镜部分，所述反射镜部分具有反射光的反射面；一对压电致动器部分，该对压电致动器部分被布置在所述反射镜部分的两侧；多个连结部，所述多个连结部将所述压电致动器部分中的每一个的一端分别连接到所述反射镜部分的端部，所述反射镜部分的所述端部在沿着所述反射面且垂直于所述反射镜部分的旋转轴线的方向上远离所述旋转轴线；固定部，所述固定部支撑所述压电致动器部分中的每一个的另一端；和垂直运动限制结构，所述垂直运动限制结构限制所述反射镜部分的旋转轴线在垂直于所述反射面的方向上的平移运动，所述垂直运动限制结构的一端连接到所述固定部，而所述垂直运动限制结构的另一端连接到所述反射镜部分，所述垂直运动限制结构包括：扭杆，所述扭杆连接到所述反射镜部分上与所述旋转轴线重合的位置，并且所述扭杆在所述旋转轴线的轴向方向上从所述反射镜部分向外延伸；和扭杆支撑部，所述扭杆支撑部连接到所述扭杆并且还连接到所述固定部，所述扭杆支撑部支撑所述扭杆。2.根据权利要求1所述的反射镜驱动设备，其中，所述垂直运动限制结构是将所述固定部连接到所述反射镜部分上与所述旋转轴线重合的位置或者将所述固定部连接到所述反射镜部分上相对于所述旋转轴线轴向对称的多个位置的结构。3.根据权利要求1所述的反射镜驱动设备，其中，所述扭杆支撑部具有与所述固定部的厚度相同的厚度。4.根据权利要求1所述的反射镜驱动设备，其中，所述扭杆支撑部具有薄板结构，所述薄板结构的厚度小于所述固定部的厚度。5.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述连结部中的每一个都具有下述结构：使垂直于所述旋转轴线的方向作为其纵长方向的至少一个薄板构件被布置成沿着所述反射面以曲折形状折叠。6.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述压电致动器部分中的每一个都由一个或多个压电悬臂构成。7.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述压电致动器部分中的每一个都由压电单晶悬臂构成，在所述压电单晶悬臂中，振动板、下电极、压电体和上电极依次层叠。8.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，通过移动所述压电致动器部分以使所述反射镜部分与所述连结部之间的连接部分振荡，从而引起所述反射镜部分绕着所述旋转轴线的旋转运动。9.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述压电致动器部分中的每一个都具有曲折结构，在所述曲折结构中，多个压电悬臂被布置成以曲折形状折叠，并且所述压电致动器部分被以使相互相邻的压电悬臂执行沿相反方向的弯曲位移的方式驱动。10.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述反射镜部分被以接近所述反射镜部分执行绕着所述旋转轴线的旋转运动的谐振模式的谐振频率fx的频率谐振驱动。11.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述反射镜部分执行沿垂直于所述反射面的方向的平移运动的谐振模式的谐振频率fy具有高于200Hz的值。12.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动设备，其中，所述反射镜部分的所述平移...

【专利技术属性】
技术研发人员：直野崇幸，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：