光扫描装置及光扫描控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有：以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在连结梁上，当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移，第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用扭转梁从轴向两侧支撑用于支撑反射镜的反射镜支撑部，利用上述扭转梁的扭转使上述反射镜支撑部在绕轴方向及与上述绕轴正交的方向上摆动的光扫描装置及光扫描控制装置。
技术介绍
以往，已知有使用在压电元件的上表面形成上部电极、在下表面形成下部电极的促动器使反射入射光的反射镜部绕旋转轴旋转，从而使反射光进行扫描的光扫描装置。在该促动器中，通过在上部电极与下部电极上施加驱动电压，使反射镜部相对于反射面垂直及水平地摆动。在这种促动器中，设有检测在驱动反射镜部并摆动的状态下在压电元件上产生的电压的检测用压电传感器，根据该压电传感器的输出，检测反射镜部的倾斜，控制促动器的动作。然而，压电传感器在驱动反射镜部并摆动的状态下产生的电压是微弱的电压，存在含有干扰的场合。因此，以往，为了检测未施加驱动电压的状态的压电传感器的输出，下了各种功夫。例如，在专利文献I中，公开了在检测未施加驱动电压的压电传感器的产生电压的场合，避免由与驱动电压的电压差引起的接地电位的干扰的干涉的技术。现有技术文献专利文献1:日本特开2009-169195号公报在现有的检测用的压电传感器中，由于输出是微弱的，因此容易受到来自其他信号的干扰(串线)，由于该串线，反射镜的倾斜的检测精度下降。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况并为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜部的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。本专利技术为了实现上述目的，采用以下那样的结构。本专利技术是一种光扫描装置100，其利用扭转梁130AU30B从轴向两侧支撑反射镜支撑部120，该反射镜支撑部120支撑反射镜110，通过上述扭转梁130AU30B的扭转，使上述反射镜支撑部120在绕轴方向上摆动，该光扫描装置100具有以夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的方式成对设置的第一驱动梁150AU50B ；将上述第一驱动梁150A、150B的一侧与上述扭转梁130A、130B连结的连结梁140AU40B ;以及第一压电传感器191，其形成在上述连结梁140AU40B上，当在上述第一驱动梁150AU50B上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由上述扭转梁130AU30B的绕轴的摆动引起的上述连结梁140A、140B的位移，上述第一压电传感器191将上述电极配线202向夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的一方的上述第一驱动梁150B引出，将下部电极配线201向夹着上述反射镜110及上述反射镜支撑部120的另一方的上述第一驱动梁150A引出。另外，上述参照符号是为了容易地理解而添加的，只是一个例子，不限定于图示的方式。本专利技术的效果如下。根据本专利技术，能够减少传感器配线的干扰，高精度地检测反射镜的倾斜。附图说明图1是说明第一实施方式的光扫描装置的图。图2是放大了图1的部分A的图。图3是放大了图1的部分B的图。图4是说明第二实施方式的光扫描装置的图。图5是对第二实施方式的保护图案进行说明的图。图6是放大了图4的部分Al的图。图7是放大了图4的部分BI的图。图8是说明第三实施方式的光扫描装置的图。图9是放大了图8的部分B2的图。图10是说明第四实施方式的光扫描装置的图。图11是说明增益、相位调整部的图。图12是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的图。图13是说明第四实施方式的干扰去除部的顺序的图。图14是表示干扰去除前的压电传感器的输出波形的图。图15是说明干扰同等成分的图。图16是表示干扰去除后的压电传感器的输出波形的图。图17是说明第四实施方式的干扰去除部的电路结构的其他例的图。图18是说明第五实施方式的光扫描装置的图。图19是说明第五实施方式的干扰去除的处理的流程图。图20是放大了第五实施方式的光扫描装置的反射镜部分的图。图21是表不第五实施方式的压电传感器的输出的例子的图。图22是表示在第五实施方式中压电传感器的输出信号的差信号的例子的图。图23是说明第七实施方式的光扫描装置的图。图24是说明第七实施方式的光扫描模块的第一图。图25是说明第七实施方式的光扫描模块的第二图。图26是说明光学传感器的图。图27是说明光学传感器的配置位置的图。图28是对反射镜的垂直方向的倾斜的测定进行说明的图。图29是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第一图。图30是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第二图。图31是表示实测值与光学传感器的输出的比较结果的第三图。图中100、100A、100B、100D —光扫描装置，300、300A、300B—光扫描控制装置，100C—光扫描模块，110—反射镜，120—反射镜支撑部，130—扭转梁，140—连结梁，150A、150B—第一驱动梁，151A、151B、171A、171B-驱动源，160-可动框，170A、170B-第二驱动梁，180-固定框，191、195、196—压电传感器，201、202、207A、207B、208A、208B —传感器配线，203、204、205、206、210A、210B—驱动配线，220、220A、221、221A—保护图案，700—光学传感器。具体实施例方式(第一实施方式)下面，参照附图对本专利技术的第一实施方式进行说明。图1是说明第一实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描装置100具备反射镜110、反射镜支撑部120、扭转梁130A、130B、连结梁140A、140B、第一驱动梁150A、150B、可动框160、第二驱动梁170A、170B、固定框180。另外，本实施方式的第一驱动梁150A、150B分别具备驱动源151AU51B。第二驱动梁170A、170B分别具备驱动源171A、171B。在本实施方式的反射镜支撑部120上沿反射镜110的圆周形成有狭缝122。利用该狭缝122，能够使反射镜支撑部120轻量化，并且能够向反射镜110传递由扭转梁130A、130B产生的扭转。在本实施方式的光扫描装置100中，在反射镜支撑部120的表面支撑有反射镜110，反射镜支撑部120连结在位于两侧的扭转梁130AU30B的端部。扭转梁130AU30B构成摆动轴，在轴向上延伸并从轴向两侧支撑反射镜支撑部120。通过扭转梁130AU30B扭转，支撑在反射镜支撑部120上的反射镜110摆动，进行使照射在反射镜110上的光的反射光扫描的动作。扭转梁130AU30B分别连结支撑在连结梁140AU40B上，并连结在第一驱动梁 150A、150B 上。第一驱动梁150A、150B、连结梁140A、140B、扭转梁130A、130B、反射镜支撑部120及反射镜110被可动框160包围。第一驱动梁150AU50B将各自的一侧支撑在可动框160上。第一驱动梁150A的另一侧在内周侧延伸并与连结梁140AU40B连结。第一驱动梁150B的另一侧与同样地向内周侧延伸并与连结梁140AU40B连结。第一驱动梁150AU50B在与扭转梁130AU30B正交的方向上以夹住反射镜110及反射镜支撑部120的方式成对设置。在第一驱动梁150A、150B的表面分别形成有驱动源151A、151B。驱动源151A、151B由形成在第一驱动梁150AU50B的表面上的压电元件的薄膜的上表面的上部电极、形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光扫描装置，其利用扭转梁从轴向两侧支撑对反射镜进行支撑的反射镜支撑部，通过上述扭转梁的扭转，使上述反射镜支撑部在绕轴方向上摆动，该光扫描装置的特征在于，具有：以夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁；将上述第一驱动梁的一侧与上述扭转梁连结的连结梁；以及第一压电传感器，其形成在上述连结梁上，当在上述第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由上述扭转梁的绕轴的摆动引起的上述连结梁的位移，上述第一压电传感器将上部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方的上述第一驱动梁引出。

【技术特征摘要】
2011.10.03 JP 2011-219255;2012.07.06 JP 2012-15281.一种光扫描装置，其利用扭转梁从轴向两侧支撑对反射镜进行支撑的反射镜支撑部，通过上述扭转梁的扭转，使上述反射镜支撑部在绕轴方向上摆动，该光扫描装置的特征在于，具有 以夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁； 将上述第一驱动梁的一侧与上述扭转梁连结的连结梁；以及 第一压电传感器，其形成在上述连结梁上，当在上述第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测由上述扭转梁的绕轴的摆动引起的上述连结梁的位移， 上述第一压电传感器将上部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁引出，将下部电极配线向夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的另一方的上述第一驱动梁引出。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于， 具有包围上述反射镜及上述反射镜支撑部、上述扭转梁、上述第一驱动梁、以及上述连结梁的可动框； 第二驱动梁，其以夹着上述可动框的方式成对，一端连结在上述可动框上，使上述反射镜及上述反射镜支撑部在与上述绕轴正交的方向上摆动；以及 第二压电传感器，其形成在上述第二驱动梁上，当在上述第二驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时，检测上述第二驱动梁的位移。3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于， 上述上部电极配线以与向上述一方的上述第一驱动梁具有的驱动源供给驱动电压的一方的驱动配线并行的方式形成， 上述下部电极配线以与向上述另一方的上述第一驱动梁具有的驱动源供给驱动电压的另一方的驱动配线并行的方式形成， 上述上部电极配线和上述一方的驱动配线并行的长度与上述下部电极配线和上述另一方的驱动配线并行的长度相等。4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于， 在上述上部电极配线与上述一方的驱动配线之间、以及上述下部电极配线与上述另一方的驱动配线之间形成有与地线连接的保护图案。5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于， 上述保护图案从上述上部电极配线与上述一方的驱动配线开始并行的位置、以及上述下部电极配线与上述另一方的驱动配线开始并行的位置形成。6.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于， 上述保护图案从下述位置的附近形成 上述下部电极配线与设在一方的上述第二驱动梁上的一方的上述第二压电传感器的上部电极配线及下部电极配线开始并行的位置；以及 上述上部电极配线与设在另一方的上述第二驱动梁上的另一方的上述第二压电传感器的上部电极配线及下部电极配线开始并行的位置。7.一种光扫描控制装置，其具备权利要求1 6任一项所述的光扫描装置，该光扫描控制装置的特征在于， 具有干扰去除部，其根据施加在夹着上述反射镜及上述反射镜支撑部的一方的上述第一驱动梁上的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中丰树，高桥宗明，关根久通，阿贺寿典，日比谷利一郎，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：