一种热驱动MEMS微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）、微镜边框（3）和隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接；本发明专利技术设计的热驱动MEMS微镜能够有效增强驱动臂（2）上的热响应率，且能有效降低驱动臂（2）上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种热驱动MEMS微镜。
技术介绍
微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标。因此，微机电系统技 术就应运而生，被广大制造商广泛应用，使用微机电系统技术制造的器件主要可分成两大 类，其一就是单纯微型化传统器件，如微型光学平台，其优点集中体现在可以拓展微型化的 系统的使用范围；其二使用革新原理制造出传统方法无法制作的器件，如地磁传感器。现有的热驱动MEMS微镜的驱动臂的热响应率低，且伴随着较高的热损耗，这样的 缺点就使得MEMS微镜的驱动臂响应慢，并且驱动臂上产生的热功率很快会分别传导到微 镜边框和镜面上，就带来了很大的热损耗，以至于不能有效地调节微镜的高度，且该热驱动 MEMS微镜不适合高频应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种能够有效增强驱动臂上的热响应率，且能 有效降低驱动臂上的热损耗的热驱动MEMS微镜。本专利技术为了解决上述技术问题采用以下技术方案本专利技术设计了一种热驱动 MEMS微镜，包括镜面、驱动臂和微镜边框，还包括隔热连接件，所述驱动臂的两端分别通过 隔热连接件与微镜边框、镜面相连接。作为本专利技术的一种优选技术方案还包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）和微镜边框（3），其特征在于：还包括隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接。

【技术特征摘要】
1.一种热驱动MEMS微镜，包括镜面(I)、驱动臂(2)和微镜边框(3)，其特征在于还包括隔热连接件(4)，所述驱动臂(2)的两端分别通过隔热连接件(4)与微镜边框(3)、镜面(O相连接。2.根据权利要求1所述一种热功率MEMS微镜，其特征在于还包括导电走线(6)，所述导电走线...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁金玲，谢会开，陈巧，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：