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本发明涉及一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）、微镜边框（3）和隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接；本发明设计的热驱动MEMS微镜能够有效增强驱动臂（2）上的热...
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