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本发明涉及一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺，其中无源驱动MEMS光开关包括镜体（1）、镜体边框（2）和还包括磁性件（3），镜体（1）通过弹性连接件（4）与镜体边框（2）相连接，磁性件（3）设置在镜体（1）的背面；本发明设计的无源驱动ME...
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