【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及变形镜
，特别涉及一种包含锥形压电保护致动装置的变形镜。
技术介绍
变形镜，又称变形反射镜，主要运用于各种自适应光学系统之中，作为波前校正器件校正波前误差，在自适应光学系统中起着极其重要的作用，是自适应光学系统中的重要部件之一，变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。变形反射镜式通过改变自己表面面形来补偿波前相位畸变，可分为连续表面和分立表面两种类型。连续表面变形镜，其优点是可以得到连续的面形，校正精度高，其缺点是面形的变形量比较小。连续表面的变形反射镜又可分为整体致动和分立致动两种类型。整体致动主要有双压电变形镜和薄模变形镜，其特点是当控制电压作用于某一致动单元时，整个反射镜面都将产生变形，这类变形镜主要用于与曲率波前传感器配合校正波前畸变的低阶模式部分。分立致动变形镜的一个特点是当控制电压作用于一个致动器时，只有该致动器相邻区域产生局部变形，其中致动方向平行于镜面时，致动器作用于反射镜边缘，只能用于校正离焦和像散等特定像差，因此在自适应光学系统里的应用受到局限。致动方向垂直于镜面的连续表面变形镜可以校正各阶像差，而...
【技术保护点】
一种变形镜，其特征在于，包括：镜体，所述镜体在受力时发生变形；基座，所述基座包括至少一个致动通道；和至少一个致动装置，所述致动装置一一对应地安装与所述至少一个致动通道中，用于控制所述镜体变形，其中，所述致动装置进一步包括：推进器，所述推进器与所述镜体相连，对所述镜体施加作用力；致动器，所述致动器与所述推进器相连，当所述致动器伸展时，所述致动器推动所述推进器产生正向位移；碟簧，所述碟簧位于所述推进器与所述致动器之间，当所述致动器收缩时，所述碟簧推动所述推进器产生负向位移；锥形顶杆，所述锥形顶杆的大直径面开有和所述致动器尾端相配合的定位孔，所述定位孔用于固定所述致动器，以防止所...
【技术特征摘要】
1.一种变形镜，其特征在于，包括: 镜体，所述镜体在受力时发生变形； 基座，所述基座包括至少一个致动通道；和 至少一个致动装置，所述致动装置一一对应地安装与所述至少一个致动通道中，用于控制所述镜体变形，其中，所述致动装置进一步包括: 推进器，所述推进器与所述镜体相连，对所述镜体施加作用力； 致动器，所述致动器与所述推进器相连，当所述致动器伸展时，所述致动器推动所述推进器产生正向位移； 碟簧，所述碟簧位于所述推进器与所述致动器之间，当所述致动器收缩时，所述碟簧推动所述推进器产生负向位移； 锥形顶杆，所述锥形顶杆的大直径面开有和所述致动器尾端相配合的定位孔，所述定位孔用于固定所述致动器，以防止所述致动器受到径向剪切力；和 微调...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄磊，巩马理，闫平，薛峤，李腾浩，柳强，冯泽心，康少男，孙冶，闫海波，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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