温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种垂直大位移MEMS微镜及加工工艺，其中装置包括微镜边框（1）、镜体（2）和驱动臂（3），镜体（2）边缘通过驱动臂（3）与微镜边框（1）相连接；所述驱动臂（3）包括两根直梁（4）和与之相对应的三个双层膜Bimorph结构连接件（...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。