封装前晶圆测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种封装前晶圆测试装置，在探针卡的印刷电路板上设置有第一RJ45接口布线和一个以上的第一RJ45插座，第一RJ45接口布线实现探针卡的印刷电路板的输入输出信号和第一RJ45插座之间的连接。在测试仪的搭载基板上设置有第二RJ45接口布线和一个以上的第二RJ45插座，第二RJ45接口布线实现测试仪的搭载基板的输入输出信号和第二RJ45插座之间的连接。各第一RJ45插座和对应的第二RJ45插座之间通过网线连接。本实用新型专利技术能提高信号传输频率和测试速率，并能节省测试成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种封装前晶圆测试装置。
技术介绍
现有封装前晶圆测试(CP测试)装置包括探针卡和测试仪；探针卡通过探针和封装前晶圆上的芯片接触从而实现对晶圆上的芯片的信号的读写。测试仪用于对整个测试过程进行控制并对探针卡从芯片上读取的信号进行分析测试，探针卡包括有印刷电路板(PCB),测试仪包括有搭载基板(Ioadboard)。印刷电路板上的输入输出信号和搭载基板输入输出信号之间通过50pin或64pin排线进行连接，并在印刷电路板和搭载基板上分别配置有用于排线连接的接口。或者，印刷电路板上的输入输出信号和搭载基板输入输出信号之间通过数根含屏蔽层的同轴电缆进行连接。采用排线进行连接时，信号传输频率最大值只能达到20MHZ左右，所以测试速率较低，测试时间长，另外采用排线的成本为每pin每米2元左右。采用同轴电缆连接时，信号传输频率最大值可以达到50MHZ测试左右，相对于排线连接，测试速率更快。但是，采用同轴电缆的成本为每pin每米50元左右，因成本较高，现有封装前晶圆测试装置中甚少使用同轴电缆。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种封装前晶圆测试装置，能提高信号传输频率和测试速率，并能节省测试成本。为解决上述技术问题，本技术提供的封装前晶圆测试装置包括探针卡和测试仪，所述探针卡包括有印刷电路板，在所述探针卡的印刷电路板上设置有第一 RJ45接口布线和一个以上的第一 RJ45插座，所述第一 RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第一接口对，各所述第一 RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第一接口对的第一端的8个接口上，所述第一接口对的第二端的8个接口和所述探针卡的印刷电路板的输入输出信号相连；所述测试仪包括有搭载基板，在所述测试仪的所述搭载基板上设置有第二 RJ45接口布线和一个以上的第二 RJ45插座，所述第二 RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第二接口对，各所述第二 RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第二接口对的第一端的8个接口上，所述第二接口对的第二端的8个接口和所述测试仪的搭载基板的输入输出信号相连；各所述第一RJ45插座和对应一个所述第二RJ45插座之间连接一网线,各所述网线的两端都设置有RJ45连接头，各所述网线通过所述RJ45连接头连接到对应的所述第一RJ45插座或所述第二 RJ45插座中。进一步的改进是，所述第一 RJ45接口布线和所述探针卡的印刷电路板的电路都形成在所述印刷电路板上；或者所述第一 RJ45接口布线形成在一块附加板上，并通过该附加板加装在所述探针卡的印刷电路板上，所述第一 RJ45接口布线的附加板能够自由拆卸。进一步的改进是，所述第二 RJ45接口布线和所述测试仪的搭载基板的电路都形成在所述印刷电路板上；或者所述第二 RJ45接口布线形成在一块附加板上，并通过该附加板加装在所述测试仪的搭载基板上，所述第二 RJ45接口布线的附加板能够自由拆卸。进一步的改进是，所述网线为五类非屏蔽双绞线，超五类非屏蔽双绞线，五类屏蔽双绞线，超五类屏蔽双绞线，六类非屏蔽双绞线，六类屏蔽双绞线。本技术具有如下有益效果1、本技术中采用网线做为探针卡和测试仪之间的信号连接，网线的信号传输频率可以达到100MHZ以上，所以本技术相对于现有技术中的排线结构，能够大大提高信号传输频率，从而能够提高测试速率，节省测试时间。2、网线作为一个广泛应用于IT行业的成熟的产品，已经具有非常大规模的量产化，这使得虽然其用料成本虽然高于排线，但网线的市场价格反而更便宜。相对于排线，本技术的网线能够降低30%的连线成本；而相对同轴电缆，本技术的网线连线成本仅为同轴电缆的1/10。所以本技术能节省测试成本。3、由于网络为双绞线，相对于排线，能够提高屏蔽噪音干扰的效果，最后能提高测试质量。4、相对于排线，本技术的网线还能提高长距离传输信号的效果，也要强于排线。因为网线内每根导线都为毫米粗的铜质线，对于数字信号传输，长度数十米的网线也可满足应用，而不会有太大信号衰减。而排线中每根导线的用料大大少于网线，粗细不及网线导线的1/4，阻抗大，信号衰减也大，一般应用于测试中，其长度不超过O. 5米。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明附图说明图1是本技术实例示意图。具体实施方式本技术实施例封装前晶圆测试装置包括探针卡和测试仪。探针卡通过探针和封装前晶圆上的芯片接触从而实现对晶圆上的芯片的信号的读写。测试仪用于对整个测试过程进行控制并对探针卡从芯片上读取的信号进行分析测试。所述探针卡包括有印刷电路板1，在所述探针卡的印刷电路板I上设置有第一RJ45接口布线2和一个以上的第一 RJ45插座3。本技术实施例中所述第一 RJ45接口布线2和所述探针卡的印刷电路板I的电路都形成在所述印刷电路板I上。在其它实施例中，所述第一 RJ45接口布线2形成在一块附加板上，并通过该附加板加装在所述探针卡的印刷电路板I上，所述第一 RJ45接口布线2的附加板能够自由拆卸，即附加板使用时装上去，不使用时可以拆卸下来，这样可以需要改变现有封装前晶圆测试装置的探针卡的印刷电路板就能实现，能够和现有装置兼容。所述第一 RJ45接口布线2上设置有多个含有8个接口的第一接口对，各所述第一RJ45插座3的8根数据线都连接到一个所述第一接口对的第一端的8个接口上，所述第一接口对的第二端的8个接口和所述探针卡的印刷电路板I的输入输出信号相连。所述测试仪包括有搭载基板4，在所述测试仪的所述搭载基板4上设置有第二RJ45接口布线5和一个以上的第二 RJ45插座6。本技术实施例中所述第二 RJ45接口布线5和所述测试仪的搭载基板4的电路都形成在所述印刷电路板I上。在其它实施例中，所述第二 RJ45接口布线5形成在一块附加板上，并通过该附加板加装在所述测试仪的搭载基板4上，所述第二 RJ45接口布线5的附加板能够自由拆卸，即附件板在使用时装上去，不使用时可以拆卸下来，这样可以不需要改变现有封装前晶圆测试装置的测试仪的搭载基板就能实现，能够和现有装置兼容。 所述第二 RJ45接口布线5上设置有多个含有8个接口的第二接口对，各所述第二RJ45插座6的8根数据线都连接到一个所述第二接口对的第一端的8个接口上，所述第二接口对的第二端的8个接口和所述测试仪的搭载基板4的输入输出信号相连。各所述第一 RJ45插座3和对应一个所述第二 RJ45插座6之间连接一网线7,各所述网线7的两端都设置有RJ45连接头，各所述网线7通过所述RJ45连接头连接到对应的所述第一 RJ45插座3或所述第二 RJ45插座6中。所述网线7为五类非屏蔽双绞线，超五类非屏蔽双绞线，五类屏蔽双绞线，超五类屏蔽双绞线，六类非屏蔽双绞线，六类屏蔽双绞线。以上通过具体实施例对本技术进行了详细的说明，但这些并非构成对本技术的限制。在不脱离本技术原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种封装前晶圆测试装置，包括探针卡和测试仪，其特征在于：所述探针卡包括有印刷电路板，在所述探针卡的印刷电路板上设置有第一RJ45接口布线和一个以上的第一RJ45插座，所述第一RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第一接口对，各所述第一RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第一接口对的第一端的8个接口上，所述第一接口对的第二端的8个接口和所述探针卡的印刷电路板的输入输出信号相连；所述测试仪包括有搭载基板，在所述测试仪的所述搭载基板上设置有第二RJ45接口布线和一个以上的第二RJ45插座，所述第二RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第二接口对，各所述第二RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第二接口对的第一端的8个接口上，所述第二接口对的第二端的8个接口和所述测试仪的搭载基板的输入输出信号相连；各所述第一RJ45插座和对应一个所述第二RJ45插座之间连接一网线，各所述网线的两端都设置有RJ45连接头，各所述网线通过所述RJ45连接头连接到对应的所述第一RJ45插座或所述第二RJ45插座中。

【技术特征摘要】
1.一种封装前晶圆测试装置，包括探针卡和测试仪，其特征在于 所述探针卡包括有印刷电路板，在所述探针卡的印刷电路板上设置有第一 RJ45接口布线和一个以上的第一 RJ45插座，所述第一 RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第一接口对，各所述第一 RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第一接口对的第一端的8个接口上，所述第一接口对的第二端的8个接口和所述探针卡的印刷电路板的输入输出信号相连； 所述测试仪包括有搭载基板，在所述测试仪的所述搭载基板上设置有第二 RJ45接口布线和一个以上的第二 RJ45插座，所述第二 RJ45接口布线上设置有多个含有8个接口的第二接口对，各所述第二 RJ45插座的8根数据线都连接到一个所述第二接口对的第一端的8个接口上，所述第二接口对的第二端的8个接口和所述测试仪的搭载基板的输入输出信号相连； 各所述第一 RJ45插座和对应一个所述第二 RJ45插座之间连接一网线，各所述网线的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘顺临，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：