【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种支架,具体涉及一种MO源瓶支架。
技术介绍
在LED外延芯片生产过程中,在需对MOCVD (金属有机化学气相沉积)设备上装备MO源时,由于各个厂家MO源瓶大小尺寸不一,导致MO源瓶在设备槽体内的位置不固定,这样会导致在装源的过程中会发生MO源瓶倾斜歪倒的可能,造成安全事故。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便、用于固定MO源瓶的MO源瓶支架。一种MO源瓶支架,包括槽形架体及倒T形架体,所述槽形架体与倒T形架体之间构成一个用于存放MO源瓶的容置空间,所述容置空间的对应侧壁中旋设有调节紧固螺栓。本技术结构简单,制作方便,容置空间的设置保证了 MO源瓶安放的稳定,有效的避免了外界因素的干扰,同时调节紧固螺栓的设置可以使本技术适用于不同规格的MO源瓶体,通过旋设调节紧固螺栓,能够将MO源瓶体更好的固定在容置空间中,而且操作方便,制造成本也较低。附图说明图1为本实用新 型的结构示意图。具体实施方式实施例1参见图1,本技术提供的一种MO源瓶支架,包括槽形架体I及倒T形架体2,所述槽形架体I与倒T形架体2之间构成一个用于存放MO源瓶的容置空间3,所述容置空间3的对应侧壁中旋设有调节紧固螺栓4。使用时,可将不同尺寸规格的MO源瓶放入容置空间3中,通过旋紧调节紧固螺栓4,可以将MO源瓶固定。
【技术保护点】
一种MO源瓶支架,其特征在于:包括槽形架体及倒T形架体,所述槽形架体与倒T形架体之间构成一个用于存放MO源瓶的容置空间,所述容置空间的对应侧壁中旋设有调节紧固螺栓。
【技术特征摘要】
1.一种MO源瓶支架,其特征在于包括槽形架体及倒T形架体,所述槽形架体与倒T形架体...
【专利技术属性】
技术研发人员:林长军,
申请(专利权)人:合肥彩虹蓝光科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。