裸片供给机制造技术

本发明专利技术提供一种裸片供给机，提高从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机的实用性。在向拾取头具有的多个吸嘴被安装工具分别安装有多个吸嘴的裸片供给机上，设置收容所述多个吸嘴（44）的吸嘴收容装置（100）。并且，将该吸嘴收容装置以所述多个吸嘴与多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，在该吸嘴收容装置设有为了向拾取头的同时安装而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构（120）、（122）、（124）、（126）、（128）。能够迅速地安装多个吸嘴，能够实现拾取头的结构的简单化、轻量化。

【技术实现步骤摘要】
裸片供给机
本专利技术涉及从切割晶圆而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机。
技术介绍
从裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机例如有下述专利文献所记载的结构，通过拾取头具有的吸嘴吸附保持裸片，使拾取头移动，将拾取头移动保持的裸片供给至规定的供给位置。多数情况下，该被供给的裸片通过部件安装机安装到基板上。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开2010-129949号公报
技术实现思路
为了提高安装有裸片的裸片安装品的制造速度，需要提高基于裸片供给机的裸片的供给速度（每单位时间能够供给的裸片的数量），因此也研究了在拾取头装备多个吸嘴的技术。另一方面，例如从能够应对各种尺寸的裸片的理由出发，希望在裸片供给机上能够更换吸嘴。因此，在装备多个吸嘴的情况下，要求更换并安装多个吸嘴。对于该多个吸嘴的安装的技术，留有改良的余地，通过悉心钻研，能够提高具备多个吸嘴的裸片供给机的实用性。本专利技术鉴于这样的实际情况而做出，其课题是提供实用性高的裸片供给机。为了解决上述课题，本专利技术的裸片供给机的特征在于，在收容安装于拾取头的多个吸嘴的收容装置设有吸嘴动作机构，该吸嘴动作机构为了将所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有为了使所收容的所述多个吸嘴同时安装于...

【技术特征摘要】
2011.10.03 JP 2011-2194881.一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有使所收容的所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构，所述吸嘴升降机构具有能够旋转的杆组件和使该杆组件旋转且升降的杆组件动作机构，所述杆组件具有在某旋转位置能够与所述多个吸嘴被安装工具卡合的多个杆和在与该某旋转位置不同的旋转位置能够仅与所述多个吸嘴被安装工具中的一个卡合的一个杆，所述吸嘴升降机构构成为能够使所述多个吸嘴同时升降且能够使所述多个吸嘴中的被任意选择的一个吸嘴升降，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具同时升降，从而能够将该多个吸嘴同时安装于该多个吸嘴被安装工具，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具中的被任意选择的一个吸嘴被安装工具升降，从而能够将该多个吸嘴中的一个吸嘴安装于选择的该一个吸嘴被安装工具。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎敏彦，清水利律，大桥广康，村井正树，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：