裸片供给机制造技术

本发明专利技术提供一种裸片供给机，提高从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机的实用性。在向拾取头具有的多个吸嘴被安装工具分别安装有多个吸嘴的裸片供给机上，设置收容所述多个吸嘴（44）的吸嘴收容装置（100）。并且，将该吸嘴收容装置以所述多个吸嘴与多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，在该吸嘴收容装置设有为了向拾取头的同时安装而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构（120）、（122）、（124）、（126）、（128）。能够迅速地安装多个吸嘴，能够实现拾取头的结构的简单化、轻量化。

【技术实现步骤摘要】
裸片供给机
本专利技术涉及从切割晶圆而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机。
技术介绍
从裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机例如有下述专利文献所记载的结构，通过拾取头具有的吸嘴吸附保持裸片，使拾取头移动，将拾取头移动保持的裸片供给至规定的供给位置。多数情况下，该被供给的裸片通过部件安装机安装到基板上。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开2010-129949号公报
技术实现思路
为了提高安装有裸片的裸片安装品的制造速度，需要提高基于裸片供给机的裸片的供给速度（每单位时间能够供给的裸片的数量），因此也研究了在拾取头装备多个吸嘴的技术。另一方面，例如从能够应对各种尺寸的裸片的理由出发，希望在裸片供给机上能够更换吸嘴。因此，在装备多个吸嘴的情况下，要求更换并安装多个吸嘴。对于该多个吸嘴的安装的技术，留有改良的余地，通过悉心钻研，能够提高具备多个吸嘴的裸片供给机的实用性。本专利技术鉴于这样的实际情况而做出，其课题是提供实用性高的裸片供给机。为了解决上述课题，本专利技术的裸片供给机的特征在于，在收容安装于拾取头的多个吸嘴的收容装置设有吸嘴动作机构，该吸嘴动作机构为了将所述多个吸嘴同时安装于拾取头而使所述多个吸嘴同时动作。【专利技术效果】根据本专利技术的裸片供给机，能够在拾取头迅速安装多个吸嘴，另外，不需要为了该安装而将使吸嘴动作的机构设于拾取头，因此能够实现拾取头的结构的简单化、轻量化。由于具有这些优点，本专利技术的裸片供给机的实用性高。【专利技术的方式】以下，例示了几个本申请中认为能够申请专利的专利技术（以下有时称为“可申请专利技术”）的方式，对它们进行说明。各方式与技术方案同样，以如下的形式记载：区分为项，并对各项标注编号，根据需要引用其他项的编号。这只是为了易于理解可申请专利技术，并不是将构成这些专利技术的构成要素的组合限定于以下的各项所记载的内容的意思。即，可申请专利技术应参考各项附属的记载、实施例的记载等而解释，只要按照该解释，对各项的方式进一步附加其他构成要素的方式、或从各项的方式删除某一构成要素的方式也能成为可申请专利技术的一方式。以下的各项中，（1）项相当于技术方案1，（2）项相当于技术方案2，（5）项～（9）项相当于技术方案3～技术方案7。（1）一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有为了使所收容的所述多个吸嘴同时安装于所述多个吸嘴被安装工具而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构。根据本项的方式的裸片供给机，收容于吸嘴收容装置的多个吸嘴的相对位置关系和多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相等。即，多个吸嘴的相对位置关系在所述多个吸嘴安装于拾取头的情况下和收容于吸嘴收容装置的情况下相等。因此，在多个吸嘴的安装时，仅通过利用头移动装置、吸嘴升降机构，就能够使收容于吸嘴收容装置的多个吸嘴同时相对于多个吸嘴被安装工具成为卡合状态或成为临近卡合之前的状态。在吸嘴的安装时，需要使成为卡合状态的吸嘴固定于吸嘴被安装工具等，但在本项的方式的裸片供给机中，作为对于多个吸嘴同时进行为了该固定等而进行的吸嘴的动作、详细地说相对于吸嘴被吸附工具的相对动作的机构，设有上述吸嘴动作机构。因此，根据本项的方式的裸片供给机，能够迅速地将多个吸嘴自动地且迅速地安装于拾取头。另外，在本项的方式的裸片供给机中，上述吸嘴动作机构设于吸嘴收容装置，因此不需要将该机构设于拾取头，实现了拾取头的结构的简单化、轻量化。通过具有该优点，本项的方式的裸片供给机成为实用性高的结构。通过本项的方式的吸嘴动作机构进行的吸嘴的动作，优选的是通过上述头移动装置及吸嘴升降机构不能进行的吸嘴和吸嘴被安装工具的相对动作。为这种动作的情况下，能够充分利用将上述吸嘴动作机构设于吸嘴收容装置的优点。此外，这种动作中，包括例如相当于之前说明的那样用于吸嘴的固定于吸嘴被安装工具等的动作，具体而言，就是使吸嘴绕其轴线旋转的动作、使吸嘴绕某一转动轴线转动的动作。本项的方式的“头移动装置”例如包括使拾取头沿与由裸片集合体保持装置保持的裸片集合体平行的一直线移动的装置、使拾取头沿与所述裸片集合体平行的一平面移动的装置。即，包括使拾取头一维地移动的装置、使拾取头二维地移动的装置。此外，也可以是使拾取头也能够向与由裸片集合体保持装置保持的裸片集合体垂直的方向移动的装置。该情况下，头移动装置也可以兼作“吸嘴升降机构”。（2）如（1）项所述的裸片供给机，所述吸嘴收容装置具有分别保持所述多个吸嘴的多个吸嘴保持工具，构成为在所述多个吸嘴保持工具保持了所述多个吸嘴的状态下收容所述多个吸嘴，所述吸嘴动作机构构成为通过使所述多个吸嘴保持工具同步动作，而使由所述多个吸嘴保持工具保持的所述多个吸嘴同时动作。本项的方式是关于上述吸嘴动作机构的结构施加了限定的方式。若使吸嘴保持工具动作而使吸嘴动作，则能够简便地使收容于吸嘴收容装置的吸嘴动作。（3）如（2）项所述的裸片供给机，所述吸嘴收容装置具有多套所述多个吸嘴保持工具，收容多套多个吸嘴。根据本项的方式的裸片供给机，吸嘴收容装置能够收容多套能够同时安装的多个吸嘴，例如若按套件收容尺寸、能力等不同的多个吸嘴，则通过对它们进行更换而安装于拾取头，可提高该裸片供给机的通用性、便利性。（4）如（3）项所述的裸片供给机，所述吸嘴动作机构使各套件的所述多个吸嘴保持工具同步动作。根据本项的方式，能够使所有套件的多个吸嘴都同步动作。因此，即使是能够收容多套多个吸嘴的吸嘴收容装置，也能够使吸嘴动作机构的结构比较简单。（5）如（2）～（4）项的任一项所述的裸片供给机，所述吸嘴动作机构具有1个促动器，构成为通过该促动器使所述多个吸嘴保持工具同步动作。本项的方式的裸片供给装置中，对于吸嘴动作机构仅需要单一的促动器，因此能够将该吸嘴动作机构的成本，进而该裸片供给机的成本、尤其是吸嘴动作机构的成本抑制为较低。“促动器”没有特别限定，例如可以是电磁电动机、螺线管之类的利用电磁力动作的装置，也可以是气缸、液压缸之类的利用流体压力进行动作的装置。在能够收容多套多个吸嘴的吸嘴收容装置的情况下，可以构成为按多个吸嘴保持工具的套件具有1个促动器，但从上述成本的观点出发，优选构成为任一个套件的多个吸嘴保持工具均利用1个促动器同步动作。（6）如（5）项所述的裸片供给机，所述吸嘴动作机构具有利用所述促动器进行动作的1个驱动构件、与该驱动构件卡合而被该驱动构件驱动的被驱动构件、将该被驱动构件的动作变换为所述多个吸嘴保持工具的动作的动作变换机构。根据本项的方式，即使吸嘴动作机构是仅具有一个促动器的结构，也能够简便地利用该促动器的力使多个吸嘴同步动作。“驱动构件”和“被驱动构件”的组合没有具体限定。例如可以采本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有为了使所收容的所述多个吸嘴同时安装于所述多个吸嘴被安装工具而使所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构。

【技术特征摘要】
2011.10.03 JP 2011-2194881.一种裸片供给机，从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给，包括：裸片集合体保持装置，保持裸片集合体；拾取头，具有多个吸嘴被安装工具和吸嘴升降机构，用于从由所述裸片集合体保持装置保持的裸片集合体拾取裸片，其中，所述多个吸嘴被安装工具能够分别安装分别吸附保持裸片的多个吸嘴，所述吸嘴升降机构通过使所述多个吸嘴被安装工具升降而使安装于所述多个吸嘴被安装工具的多个吸嘴升降；头移动装置，为了裸片的拾取及被拾取的裸片向规定的供给位置的供给，而使该拾取头移动；及吸嘴收容装置，构成为将所述多个吸嘴以与所述多个吸嘴被安装工具的相对位置关系相同的相对位置关系进行收容，且具有使所收容的所述多个吸嘴同时动作的吸嘴动作机构，所述吸嘴升降机构具有能够旋转的杆组件和使该杆组件旋转且升降的杆组件动作机构，所述杆组件具有在某旋转位置能够与所述多个吸嘴被安装工具卡合的多个杆和在与该某旋转位置不同的旋转位置能够仅与所述多个吸嘴被安装工具中的一个卡合的一个杆，所述吸嘴升降机构构成为能够使所述多个吸嘴同时升降且能够使所述多个吸嘴中的被任意选择的一个吸嘴升降，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具同时升降，从而能够将该多个吸嘴同时安装于该多个吸嘴被安装工具，通过所述吸嘴动作机构能够使收容于所述吸嘴收容装置的多个吸嘴同时动作且通过所述杆组件动作机构能够使所述多个吸嘴被安装工具中的被任意选择的一个吸嘴被安装工具升降，从而能够将该多个吸嘴中的一个吸嘴安装于选择的该一个吸嘴被安装工具。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎敏彦，清水利律，大桥广康，村井正树，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：发明
国别省市：