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裸片供给机制造技术
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文档序号:8566032
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本发明提供一种裸片供给机,提高从将晶圆切割而成的裸片集合体拾取裸片而进行供给的裸片供给机的实用性。在向拾取头具有的多个吸嘴被安装工具分别安装有多个吸嘴的裸片供给机上,设置收容所述多个吸嘴(44)的吸嘴收容装置(100)。并且,将该吸嘴收容装...
该专利属于富士机械制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。
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