基板的槽加工装置制造方法及图纸

一种基板的槽加工装置，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，抑制工具的偏向，能够以高精度加工槽。该槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具(2)沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽，所述基板的槽加工装置具备：工作台(1)，其用于载置基板；头部(3)，槽加工工具装配于该头部；以及移动支承机构(6)，其用于使工作台和头部在水平面内相对地移动。头部具有能够上下移动的保持器(17)、摆动部件(18)和偏向限制机构。摆动部件保持槽加工工具，由保持器支承成以与移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如并能够达到前往移动位置和返回移动位置。偏向限制机构限制前往移动位置和返回移动位置的摆动部件向摆动轴方向的偏向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及槽加工装置，特别涉及如下的基板的槽加工装置使在移动方向的两 端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽。
技术介绍
薄膜太阳电池例如用专利文献I所示的方法制造出来。在该专利文献I记载的制 造方法中，在玻璃等基板上形成由Mo膜构成的下部电极膜，然后，通过在下部电极膜形成 槽而分割成长条状。接着，在下部电极膜上形成包含CIGS (铜铟镓硒)膜等黄铜矿结构化合 物半导体膜的化合物半导体膜。并且，将这些半导体膜的一部分通过槽加工呈带(stripe) 状地除去而分割成长条状，并以覆盖它们的方式形成上部电极膜。最后，将上部电极膜的一 部分通过槽加工呈带状地剥离而分割成长条状。作为如上那样的工序中的槽加工技术的一种，采用了通过金刚石等机械工具除去 薄膜的一部分的机械划线法。在该机械划线法中，提出有专利文献2所示的方法，从而能够 进行稳定的宽度的槽加工。在该专利文献2所示的方法中，采用了具备用于调整加工负载 的加工负载调整机构的槽加工工具以及剥离工具。专利文献1:日本实开昭63-16439号公报专利文献2 日本特开2002-033498号公报在现有的槽加工装置或槽加工方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的槽加工装置，所述基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，其中，所述基板的槽加工装置具备：工作台，所述工作台用于载置基板；头部，所述槽加工工具装配于该头部；以及移动机构，所述移动机构用于使所述工作台和所述头部在水平面内相对地移动，所述头部具有：保持器，所述保持器能够上下移动；摆动部件，所述摆动部件保持所述槽加工工具，并且所述摆动部件由所述保持器支承成以与所述移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置；以及偏向限制机构，所述偏向限制机构用于限制所述前往移动位置和所述返回移动位置的所述摆动部件...

【技术特征摘要】
2011.09.28 JP 2011-2121491.一种基板的槽加工装置，所述基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，其中， 所述基板的槽加工装置具备 工作台，所述工作台用于载置基板； 头部，所述槽加工工具装配于该头部；以及 移动机构，所述移动机构用于使所述工作台和所述头部在水平面内相对地移动， 所述头部具有 保持器，所述保持器能够上下移动； 摆动部件，所述摆动部件保持所述槽加工工具，并且所述摆动部件由所述保持器支承成以与所述移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置；以及 偏向限制机构，所述偏向限制机构用于限制所述前往移动位置和所述返回移动位置的所述摆动部件向所述摆动轴方向的偏向。2.根据权利要求1所述的基板的槽加工装置，其中， 所述基板的槽加工装置还具备一对止动件，所述一对止动件...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山正信，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：