基板的槽加工装置制造方法及图纸

一种基板的槽加工装置，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，抑制工具的偏向，能够以高精度加工槽。该槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具(2)沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽，所述基板的槽加工装置具备：工作台(1)，其用于载置基板；头部(3)，槽加工工具装配于该头部；以及移动支承机构(6)，其用于使工作台和头部在水平面内相对地移动。头部具有能够上下移动的保持器(17)、摆动部件(18)和偏向限制机构。摆动部件保持槽加工工具，由保持器支承成以与移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如并能够达到前往移动位置和返回移动位置。偏向限制机构限制前往移动位置和返回移动位置的摆动部件向摆动轴方向的偏向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及槽加工装置，特别涉及如下的基板的槽加工装置使在移动方向的两 端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动而在基板上形成槽。
技术介绍
薄膜太阳电池例如用专利文献I所示的方法制造出来。在该专利文献I记载的制 造方法中，在玻璃等基板上形成由Mo膜构成的下部电极膜，然后，通过在下部电极膜形成 槽而分割成长条状。接着，在下部电极膜上形成包含CIGS (铜铟镓硒)膜等黄铜矿结构化合 物半导体膜的化合物半导体膜。并且，将这些半导体膜的一部分通过槽加工呈带(stripe) 状地除去而分割成长条状，并以覆盖它们的方式形成上部电极膜。最后，将上部电极膜的一 部分通过槽加工呈带状地剥离而分割成长条状。作为如上那样的工序中的槽加工技术的一种，采用了通过金刚石等机械工具除去 薄膜的一部分的机械划线法。在该机械划线法中，提出有专利文献2所示的方法，从而能够 进行稳定的宽度的槽加工。在该专利文献2所示的方法中，采用了具备用于调整加工负载 的加工负载调整机构的槽加工工具以及剥离工具。专利文献1:日本实开昭63-16439号公报专利文献2 日本特开2002-033498号公报在现有的槽加工装置或槽加工方法中，在连续地加工多个槽的情况下，重复如下 动作在加工完一个槽后，使头部上升并移动到加工开始位置，接着加工下一个槽。在这样 的现有的装置和方法中，加工耗费时间，而且存在着必须对之前调整好的工具的按压力再 次调整的情况。因此，本案专利技术者们开发了能够高效且迅速地进行槽加工的加工装置并已经进行 了申请(日本特愿2010-082953)。在该加工装置中，工具保持器以能够上下移动的方式安 装于头部，并且，在所述工具保持器以能够在预定的角度范围内摆动的方式安装有摆动部 件。槽加工工具被保持于摆动部件，摆动部件在前往移动时的前进切削姿势和返回移动时 的后退切削姿势之间进行反转。在槽加工工具，在前往移动侧和返回移动侧设有对称的前 部刀头和后部刀头。并且，在摆动部件处于前往移动(前进)切削姿势时，前部刀头与太阳 电池基板接触，在摆动部件处于返回移动(后退)切削姿势时，后部刀头与太阳电池基板接 触。通过使用如上所述的槽加工工具进行槽加工，能够高效地进行槽加工。然而，由于 固定有工具的摆动部件摆动自如，因此存在着在槽加工时工具和摆动部件向与移动方向正 交的方向偏向的可能性。若在槽加工时工具向与移动方向正交的方向偏向的话，无法以高 精度形成槽。
技术实现思路
本专利技术的课题在于，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，能够抑制工具的偏向，从而能够以高精度加工槽。本专利技术第一方面涉及的基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工 工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，所述基板的槽加工装置具备工作台， 所述工作台用于载置基板；头部，槽加工工具装配于该头部；以及移动机构，所述移动机构 用于使工作台和头部在水平面内相对地移动。头部具有能够上下移动的保持器、摆动部件 和偏向限制机构。摆动部件保持槽加工工具，并且所述摆动部件由保持器支承成以与移动 方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动 位置。偏向限制机构限制前往移动位置和返回移动位置的摆动部件向摆动轴方向的偏向。在该装置中，槽加工工具往复移动，并在前往移动时和返回移动时双方，在基板上 形成槽。并且，摆动部件在前往移动时位于前往移动位置，而且在返回移动时位于返回移动 位置。在这些位置中，通过偏向限制机构限制摆动部件的向与移动方向正交的方向的偏向。在此，在前往移动时和返回移动时，摆动部件的偏向受到限制，因此限制了加工时 槽加工工具的偏向。由此，能够以高精度加工槽的特别是与移动方向正交的方向的端面。本专利技术第二方面涉及的基板的槽加工装置为，在第一方面的槽加工装置中，所述 槽加工装置还具备一对止动件，所述一对止动件用于将摆动部件的摆动范围限制在前往移 动位置和返回移动位置之间。在该装置中，通过一对止动件限制摆动部件的摆动范围，并使摆动部件在前往移 动时位于前往移动位置，在返回移动时位于返回移动位置。本专利技术第三方面涉及的基板的槽加工装置为，在第二方面的槽加工装置中，摆动 部件具有工具装配部，所述工具装配部形成于摆动轴的下方，用于装配槽加工工具；以及 抵接部，所述抵接部形成于摆动轴的上方且能够与一对止动件抵接。并且，偏向限制机构具 有卡合部和被卡合部，所述卡合部和被卡合部形成在一对止动件和抵接部，所述被卡合部 与所述卡合部卡合。在此，通过在一对止动件和抵接部形成的卡合部和被卡合部，限制了摆动轴的偏 向。由此，能够以简单的结构提高槽的加工精度。本专利技术第四方面涉及的基板的槽加工装置为，在第三方面的槽加工装置中，被卡 合部是宽度朝着移动方向变窄的V字状的槽，卡合部能够与V字状槽卡合。在此，通过使卡合部与V字状槽卡合，从而限制了摆动部件的偏向。本专利技术第五方面涉及的基板的槽加工装置为，在第一至第四方面的任一方面的槽 加工装置中，所述基板的槽加工装置还具备中立维持机构，所述中立维持机构用于在加工 时以外的时候将摆动部件维持在中立位置。本专利技术第六方面涉及的基板的槽加工装置为，在第五方面的槽加工装置中，中立 维持机构是夹着摆动部件对摆动部件向中立位置施力的一对弹簧。在如上所述的本专利技术中，在使工具往复移动来进行槽加工的装置中，能够抑制工 具的偏向，以高精度加工槽。附图说明图1是装配有本专利技术的一个实施方式涉及的槽加工工具的槽加工装置的外观立 体图。图2是槽加工装置的头部的主视图。图3是摆动部件的局部放大图。图4是示出摆动部件与止动件的关系的图。图5是本专利技术的另一实施方式的与图4相当的图。标号说明1:工作台；2 :工具；3 :头部；6 :移动支承机构；17 :保持器；18 :摆动部件；28 :抵接部；28a :卡合槽；42 :螺纹部件；55 :销；56 :弹簧。具体实施方式在图1中示出作为本专利技术的一个实施方式的槽加工装置的集成型薄膜太阳电池 用槽加工装置的外观立体图。[槽加工装置的整体结构]该装置具备工作台1，其用于载置太阳电池基板W ;头部3，该头部3上装配有槽 加工工具(下面，简记作工具)2 ；以及两个摄像机4和两个监视器5。工作台I能够在水平面内沿图1的Y方向移动。而且，工作台I能够在水平面内 以任意的角度旋转。另外，在图1中，示出了头部3的大致的外观，头部3的详细情况在后 面叙述。头部3能够通过移动支承机构6而在工作台I的上方沿X、Y方向移动。另外，X 方向是如图1所示在水平面内与Y方向正交的方向。移动支承机构6具有一对支承柱7a、 7b ;引导杆8，其跨设于一对支承柱7a、7b之间；以及马达10，其用于驱动在引导杆8形成的 引导件9。头部3能够沿引导件9如上所述地在X方向移动。两个摄像机4分别固定于基座12。各基座12能够沿引导件14移动，所述引导件 14设于支承座13并沿X方向延伸。两个摄像机4能够上下移动，由各摄像机4拍摄的图像 显示于对应的监视器5。[头部]在图2中抽出头部3而示出。头部3具有板状的基部(base) 16、保持器17、摆动 部件18和气缸19。保持器17经由未图示的轨道被支承成相对于基部16沿上下方向滑动自如。保持 器17具有保持器主体22和固定于保持器主体2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的槽加工装置，所述基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，其中，所述基板的槽加工装置具备：工作台，所述工作台用于载置基板；头部，所述槽加工工具装配于该头部；以及移动机构，所述移动机构用于使所述工作台和所述头部在水平面内相对地移动，所述头部具有：保持器，所述保持器能够上下移动；摆动部件，所述摆动部件保持所述槽加工工具，并且所述摆动部件由所述保持器支承成以与所述移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置；以及偏向限制机构，所述偏向限制机构用于限制所述前往移动位置和所述返回移动位置的所述摆动部件向所述摆动轴方向的偏向。

【技术特征摘要】
2011.09.28 JP 2011-2121491.一种基板的槽加工装置，所述基板的槽加工装置使在移动方向的两端具有刃的槽加工工具沿基板的划线往复移动，从而在基板上形成槽，其中， 所述基板的槽加工装置具备 工作台，所述工作台用于载置基板； 头部，所述槽加工工具装配于该头部；以及 移动机构，所述移动机构用于使所述工作台和所述头部在水平面内相对地移动， 所述头部具有 保持器，所述保持器能够上下移动； 摆动部件，所述摆动部件保持所述槽加工工具，并且所述摆动部件由所述保持器支承成以与所述移动方向正交的摆动轴为支点摆动自如，并且所述摆动部件能够达到前往移动位置和返回移动位置；以及 偏向限制机构，所述偏向限制机构用于限制所述前往移动位置和所述返回移动位置的所述摆动部件向所述摆动轴方向的偏向。2.根据权利要求1所述的基板的槽加工装置，其中， 所述基板的槽加工装置还具备一对止动件，所述一对止动件...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山正信，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：