薄膜形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄膜形成装置，其通过使仅在多个基板上的特定部分上形成薄膜的作业简单化、效率化，从而能够缩短薄膜形成时的作业时间，减少成膜作业的费用。薄膜形成装置（100）具备的基板保持机构（3）具有：基板保持部件（10～40），保持多个基板（S），使得基板（S）的非成膜部分（S2）的一部分与其他基板（S）重合，而成膜部分（S1）露出；支撑部件（50），支撑基板保持部件（10～40）；旋转部件（60），使支撑部件（50）旋转，基板保持部件（10～40）具有：多个保持面（11d），保持多个基板（S），配置在成膜源（4）与多个基板（S）之间；多个阶差部（11e），形成在多个保持面（11d）之间，分别与多个基板（S）的端部抵接；多个开口部（11f），在基板（S）的端部抵接在多个阶差部（11e）的状态时，形成在与成膜部分（S1）相应的部分的保持面（11d）上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜形成装置，特别是涉及能够对多个基板上的特定部分，高效地形成薄膜的薄膜形成装置。
技术介绍
在数码相机和数码摄像机等摄影设备、便携电话、智能手机、便携游戏机等各种设备中，应用有在基板表面上形成薄膜的技术。并且，在这些设备上具备的基板，虽然有的是在基板整个面上形成有薄膜，但是有很多是仅在基板上的某特定的区域上选择性地形成有薄膜。如上所述，为了仅在基板上的特定的部分选择性地形成薄膜，应用了如下所述的技术在被配置于薄膜形成装置内的基板保持机构保持的基板上，通过掩膜来覆盖不形成薄膜的部分(以下，称为“非成膜部分”)。但是，在如上所述通过掩膜来覆盖基板的技术中， 一般由于每个基板都由基板保持机构来保持，以使在基板上形成薄膜的部分(以下，称为 “成膜部分”)不相互重叠，因此保持在基板保持机构上的基板的数量不能很多。因此，不能对多个基板成批地进行成膜，存在成膜效率低的问题。为了解决上述问题，提出有如下所述的技术不使用掩膜来形成非成膜部分，而是以通过其他的基板来覆盖非成膜部分的方式，在使基板重合的状态下形成薄膜(专利文献 I)。另外，在专利文献2中，提出有如下所述的技术使用第一销及第二销使多个基板 (在专利文献2中记载为“薄板部件”)倾斜地配置，在基板的端部附近形成薄膜。如上所述， 互相以斜状配置的基板，由于基板彼此相互起到掩膜的作用，因此不需要在成膜时具备掩膜，且由于基板以相互重叠的方式配置，因此能够对多个基板成批地进行处理。·专利文献I日本特开昭63-266071号公报专利文献2日本特开平7-34222号公报但是，在专利文献I中公开的技术中，由于在最后载置在基板支架的基板之上，需要安装覆盖非成膜部分的防附着板，因此作业效率低。另外，在专利文献2中公开的技术存在如下的问题由于需要使基板分别与第一销及第二销卡合，因此基板的设置作业繁杂，作业时间长。因此，在专利文献I及专利文献2的技术中，存在薄膜形成时的作业时间长，成膜作业的费用昂贵的问题。进而，在专利文献I及专利文献2中公开的基板保持机构，由于构成为必须使基板的端部(包含侧面的端部)露出，因此很难精细地设定成膜部分的形状和大小。因此，存在限制了能够在基板上形成的成膜部分的形状和大小的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种薄膜形成装置，其通过使仅在多个基板上的特定部分上形成薄膜的作业简单化、效率化，从而能够缩短薄膜形成时的作业时间，减少成膜作业的费用。另外，本专利技术的其他目的在于，提供一种薄膜形成装置，其在仅在基板上的特定部分上形成成膜部分时，能够精细地设定成膜部分的形状和大小。上述课题通过如下所述的本专利技术的薄膜形成装置来解决。该薄膜形成·装置具有保持多个基板的基板保持机构，在上述多个基板上形成薄膜，上述基板保持机构具有基板保持部件，其保持上述多个基板；支撑部件，其支撑该基板保持部件；以及旋转部件，其使该支撑部件旋转，上述基板保持部件具有多个保持面，其保持上述多个基板，配置在放出上述薄膜的材料的成膜源与上述多个基板之间；多个阶差部，其形成在该多个保持面之间； 以及多个开口部，其分别形成在上述多个保持面上，多个所述基板能够以如下方式搭载所述多个基板中的不形成所述薄膜的非成膜部分的一部分与其他基板相互重合，并且形成所述薄膜的成膜部分露出，在所述多个基板的端部分别与所述阶差部抵接的状态下，所述成膜部分通过所述开口部而露出到所述成膜源侧。为了实现仅在基板上的特定部分上形成薄膜的技术的效率化，以往是以通过其他的基板来覆盖非成膜部分的方式，在使基板相互重叠来保持的状态下进行成膜工序。此时， 存在如下所述的问题在以通过其他的基板来覆盖非成膜部分的方式配置并且以成膜部分露出的方式保持基板的作业非常繁杂。对于如上所述的问题，根据本专利技术的薄膜形成装置，能够仅通过使基板抵接(载置)到保持基板的保持面、及阶差部，而容易地使多个基板保持在基板保持机构上。并且，由于在成膜源与基板之间具有基板保持机构的保持面，在该保持面上，在与成膜部分相应的部分具备开口部，因此只有基板的成膜部分露出，不需要进行复杂的安装作业。即、能够简化以用其他的基板来覆盖基板的非成膜部分并且使成膜部分露出的方式保持基板的作业。 因此，在保持基板时，由于不需要进行复杂的作业，因此能够提高效率。其结果，能够缩短薄膜形成时的作业时间，能够减少成膜作业中的费用。另外，由于能够通过在保持面上具备开口部，而仅使基板的成膜部分露出，因此保持面(基板保持部件)起到掩膜的作用。因此，由于能够依赖开口部的形状和大小来控制成膜部分的形状和大小，因此能够进行更细致的成膜作业。进而，在基板保持机构中，由于能够通过进一步具备使支撑部件(即、基板保持机构)旋转的旋转部件，从而使基板保持部件也旋转，因此能够使形成在多个基板上的薄膜以均匀的膜质、膜厚来形成。此时，优选在所述旋转部件的旋转方向上将所述基板保持部件分割为2个以上12 个以下，并且，通过在基板保持机构的旋转方向上将基板保持部件分割为2 12个，从而使基板保持部件成为适当的大小，能够容易安装到支撑部件上。因此，能够提高成膜作业中的作业效率，缩短作业时间。进而，上述基板保持部件，优选形成为俯视时呈环状，在上述基板保持部件的径向上，相邻配置多个上述基板保持部件。如上所述，通过以在径向上相邻的状态具备多个形成为环状(甜甜圈状)的基板保持部件，从而可以进一步增加基板保持机构能够保持的基板的数量。因此，由于可以增加能够成批地进行成膜的基板张数，因此显著提高成膜作业的效率。另外，上述支撑部件，优选以能够改变上述基板保持部件的上述多个保持面、与上述旋转部件的旋转轴所成的角度的方式，保持上述基板保持部件。在基板保持部件中，通过能够改变保持基板的保持面与水平面所成的角度，从而能够校正在基板上成膜的薄膜的膜厚。其结果，在多个基板中，能够形成膜厚更均匀的薄膜，能够减少成膜时所需的材料。此时，上述基板保持部件，优选以穿过上述成膜部分和上述成膜源的第一假想线、 与上述成膜部分的成膜面的垂线所成的角度成为0°以上45°以下的方式，保持上述多个基板。在基板上形成薄膜时，薄膜的厚度(膜厚)，依赖于成膜面与放出薄膜材料的成膜源的相对位置，更详细地说，膜厚依赖于从成膜源对成膜面射入薄膜材料的角度。因此，通过使从成膜源对成膜面射入薄膜材料的角度，即穿过基板的成膜面和成膜源的假想线、与成膜面的垂线所成的角度处于上述范围，从而能够容易控制形成在基板上的薄膜的厚度，能够在多个基板上形成膜厚更均匀的薄膜。另外，上述支撑部件，优选以形成在上述多个保持面上的上述多个开口部位于以上述旋转部件的旋转轴为中心轴的假想拱顶上的方式，支撑上述基板保持部件。如上所述，通过以设置在基板保持部件上的开口部，位于以旋转部件的旋转轴 (即、基板保持机 构的旋转轴)为中心轴的假想拱顶上的方式配置，从而能够在多个基板上， 形成膜厚更均匀的薄膜。进而，优选在上述径向上彼此相邻配置的上述基板保持部件配置在如下所述的位置上对于上述成膜源而言，形成在一方的上述基板保持部件上的上述开口部，不会被另一方的上述基板保持部件挡住。如上所述，形成为环状而在径向上彼此相邻配置的基板保持部件，是以如下所述的方式配置在基板保持部件上具备的开口部，对于成膜源露出。在形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置具有保持多个基板的基板保持机构，在所述多个基板上形成薄膜，该薄膜形成装置的特征在于，所述基板保持机构具有：基板保持部件，其保持所述多个基板；支撑部件，其支撑该基板保持部件；以及旋转部件，其使该支撑部件旋转，所述基板保持部件具有：多个保持面，其保持所述多个基板，配置在放出所述薄膜的材料的成膜源与所述多个基板之间；多个阶差部，其形成在该多个保持面之间；以及多个开口部，其分别形成在所述多个保持面上，能够以如下方式搭载多个所述基板：所述多个基板中的不形成所述薄膜的非成膜部分的一部分与其他基板相互重合，并且要形成所述薄膜的成膜部分露出，在所述多个基板的端部分别与所述阶差部抵接的状态下，所述成膜部分通过所述开口部而露出到所述成膜源侧。

【技术特征摘要】
2011.09.22 JP PCT/JP2011/071649;2012.04.10 JP 2011.一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置具有保持多个基板的基板保持机构，在所述多个基板上形成薄膜，该薄膜形成装置的特征在于， 所述基板保持机构具有 基板保持部件，其保持所述多个基板； 支撑部件，其支撑该基板保持部件；以及 旋转部件，其使该支撑部件旋转， 所述基板保持部件具有 多个保持面，其保持所述多个基板，配置在放出所述薄膜的材料的成膜源与所述多个基板之间； 多个阶差部，其形成在该多个保持面之间；以及 多个开口部，其分别形成在所述多个保持面上， 能够以如下方式搭载多个所述基板所述多个基板中的不形成所述薄膜的非成膜部分的一部分与其他基板相互重合，并且要形成所述薄膜的成膜部分露出，在所述多个基板的端部分别与所述阶差部抵接的状态下，所述成膜部分通过所述开口部而露出到所述成膜源侧。2.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于， 所述基板保持部件在所述旋转部件的旋转方向上被分割为2个以上12个以下。3.根据权利要求1或2所述的薄膜形成装置，其特征在于， 所述基板保持部件形成为俯视时呈环状，在所述基板保持部件的径向上，相邻配置多个所述基板保持部件。4.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于， 所述支撑部件以能够改变所述基板保持部件的所述多个保持面与所述旋转部件的旋转轴所成的角度的方式，保持所述基板保持部件。5.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于， 所述基板保持部件以穿过所述成膜部分和所述成膜源的第一假想线与所述成膜部分的成膜面的垂线所成的角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜友松，盐野一郎，宫内充祐，青山贵昭，林达也，长江亦周，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：发明
国别省市：