【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶罩，用于溅射镀膜中对零部件的非镀膜区域进行遮挡的靶罩。
技术介绍
现有的靶罩，仅仅是一个罩壳；罩壳由面板和在面板两侧的侧板组成，面板上开有溅射孔，需要镀膜的零件在溅射孔上方，被溅射物质穿过溅射孔到达零件表面，形成镀层。但是该靶罩的溅射孔的大小一般的固定，需要改变溅射区域上，需要另外制作靶罩，也就是说，靶罩的通用性不好。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够改变溅射区域、通用性好的靶罩。本靶罩，包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。本技术的有益效果由于挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。所以通过移动挡板的位置，即可改变挡板遮挡住溅射孔的区域大小，被挡板挡住的溅射孔部分，也是非溅射区域。也就是说，通过改变挡板的位置，就能改变溅射区域。上述的靶罩，挡板上开有腰形孔，面板上开有螺孔，穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。优选，挡板包括与面板平行的连接板、与连接板相连的向上延伸的过渡板、伸出到溅射孔上方的工作板；腰形孔在连接板上。这样更便于移动挡板，提高工作效率。上述的靶罩，翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜，以防止被溅射物质逸出溅射区域。附图说明图I是靶罩的主视图。图2是靶罩的俯视图。图3是靶罩的侧视图。图4是靶罩的立体图。具体实施方式参见图1-4所不的祀罩,包括罩壳10和挡板20。罩壳10包括面板I和在面板两侧的两个侧板2，面板上开有溅射孔3，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板4位于溅射孔两侧，翼板从下...
【技术保护点】
靶罩，其特征是：包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杜杰，王建华，王鲁南，项宏其，窦立峰，
申请(专利权)人：南京汇金锦元光电材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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