【技术实现步骤摘要】
柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置
本技术是涉及磁控溅射镀膜
，具体的说是柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置。
技术介绍
柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜生产中，为提高单位时间生产产量，使用的原膜基带幅宽宽度在1米以上。现行柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜生产中，工作气体、反应气体均为分别独立管道直接输入到阴极沉积室中。由于沉积室气压极低，工作气体、反应气体以极快的速度进入沉积室，并由于真空泵低气压的作用下快速向真空泵出口方向移动。进入沉积室多种气体虽有混合，但由于时间短，多种气体混合不能完全，反应气体在工作气体气流中形成一个一个大小不等的独立气团。特别是横向幅宽方向这种气团大小不一，造成横向沉积反应均匀差异较大，导致沉积后的薄膜性能指标差异性也较大。
技术实现思路
本技术针对现有技术中的不足，提供柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，本装置使得多种气体的单一气团被充分分割的尽可能小，使混合后的多种气体进入磁控溅射沉积室后的分度密度更加均匀。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
【技术保护点】
1.柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱(16)和混合舱(7)，所述的混合舱(7)为空心管状，混合舱(7)的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带(4)和环形出气带(5)，所述的混合舱(7)的环形进气带(4)与导流混合舱(16)出气端连通，所述的混合舱(7)的环形出气带(5)与下一级气体混合子单元内的导流混合舱(16)的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱(7)两端的进气端和出气端均密封；/n所述的气体混合单元前置第一混合舱(15)，第一混合舱(15)的环形出气带(5)与第一级气体...
【技术特征摘要】
1.柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：包括若干级气体混合子单元顺次连接组成的气体混合单元，所述的气体混合子单元包括导流混合舱(16)和混合舱(7)，所述的混合舱(7)为空心管状，混合舱(7)的侧壁两端边缘分别设置有环形进气带(4)和环形出气带(5)，所述的混合舱(7)的环形进气带(4)与导流混合舱(16)出气端连通，所述的混合舱(7)的环形出气带(5)与下一级气体混合子单元内的导流混合舱(16)的进气端连通，气体混合子单元内的混合舱(7)两端的进气端和出气端均密封；
所述的气体混合单元前置第一混合舱(15)，第一混合舱(15)的环形出气带(5)与第一级气体混合子单元内导流混合舱(16)的进气端连通，第一混合舱(15)的出气端密封，第一混合舱(15)的进气端与反应气体混合室(14)连通，第一混合舱(15)的环形进气带(4)与工作气体储气舱(6)连通；
所述的反应气体混合室(14)与至少一个反应气体进气口连通，所述的工作气体储气舱(6)与至少一个工作气体进气口(3)连通；
所述的环形进气带(4)环形分布若干个进气喷嘴(12)，所述的进气喷嘴(12)的轴向沿环形进气带(4)的径向分布，所述的进气喷嘴(12)的孔径大小由管壁外侧到管壁内侧逐渐减小，所述的环形出气带(5)环形分布若干个出气喷嘴(13)，所述的出气喷嘴(13)的轴向沿环形出气带(5)的径向分布，所述的出气喷嘴(13)的孔径大小由管壁内侧到管壁外侧逐渐减小。
2.如权利要求1所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的反应气体混合室(14)分别与第一反应气体进气口(1)和第二反应气体进气口(2)连通，所述的工作气体储气舱(6)与一个工作气体进气口(3)连通。
3.如权利要求2所述的柔性宽幅连续磁控溅射镀膜气体混合装置，其特征在于：所述的气体混合单元由四级气体混合子单元顺次连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鲁南，窦立峰，
申请(专利权)人：南京汇金锦元光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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