掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法。该掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。本发明专利技术通过改变掩膜板的开口区设计，能够降低开口区的成膜无效区的面积，从而提高有机发光显示面板的开口率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体而言涉及一种。
技术介绍
有机发光显示面板(Organic Light-Emitting Diode, 0LED)是一种自主发光的显示面板，其具备结构简单、省电等特性。目前，制备有机发光显示面板的过程中，掩膜板(Shadow Mask)是其中不可缺少的 一个辅助元件，图I是现有技术中掩膜板的结构示意图，图2是图I所示掩膜板的开口区的示意图。参阅图I和图2，掩膜板100包括呈阵列状分布的多个开口区110，每一开口区110呈圆角矩形，且相邻的两个圆角R之间的区域为成膜不保证区120。在使用掩膜板100蒸镀形成有机发光显示面板的有机发光层时，由于蒸镀源与不同位置的开口区110具有的角度差异，极易使得蒸镀源提供的有机发光材料在对应成膜不保证区120处的成膜填充率不足，从而导致有机发光显示面板的有机发光层的每一发光区在对应成膜不保证区120处形成高度Hl为15微米以上的成膜无效区，进而降低有机发光显示面板的开口率。综上所述，有必要提供一种，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种，以降低成膜无效区的面积，提高有机发光显示面板的开口率。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是提供一种掩膜板，包括呈阵列状分布的多个开口区，每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。其中，第二开口区是与第一开口区连通的侧翼，侧翼设置的宽度沿着远离第一开口区的方向逐渐减小。其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型，且与第一开口区一体成型。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是提供一种制造有机发光显示面板的蒸镀装置，包括掩膜板，包括呈阵列状分布的多个开口区，且每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通；蒸镀源，间隔设置于掩膜板远离基板的一侧，用于为基板提供有机发光材料，以形成有机发光层；以及加热装置，用于加热蒸镀源。其中，蒸镀装置设置于真空且密闭的空间内。其中，第二开口区是与第一开口区连通的侧翼，侧翼设置的宽度沿着远离第一开口区的方向逐渐减小。其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型，且与第一开口区一体成型。为解决上述技术问题，本专利技术采用的又一个技术方案是提供一种制造有机发光显示面板的蒸镀方法，包括提供一掩膜板，掩膜板包括呈阵列分布的多个开口区，且每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通；提供一基板，与掩膜板相邻贴合设置；在真空且密闭的空间内，通过掩膜板的开口区向基板提供有机发光材料形成有机发光层，有机发光材料由设置于掩膜板远离基板一侧的蒸镀源提供。其中，第二开口区采用蚀刻或电铸工艺成型。其中，第二开口区与第一开口区一体成型。本专利技术的有益效果是区别于现有技术，本专利技术通过在掩膜板的矩形第一开口区的侧翼设置第二开口区，将成膜不保证区的圆角对成膜填充率的影响转移到第二开口区， 提高了第一开口区在蒸镀成膜时的成膜填充率，从而降低了成膜无效区的面积，进而提高了有机发光显示面板的开口率。附图说明图I是现有技术中掩膜板的结构示意图；图2是图I所示掩膜板的开口区的示意图；图3是本专利技术掩膜板的结构示意图；图4是图3所示掩膜板的开口区的示意图；图5是本专利技术制造有机发光显示面板的蒸镀装置的结构示意图；图6是本专利技术制造有机发光显示面板的蒸镀方法的流程图；图7是本专利技术制造有机发光显示面板的蒸镀方法的实施效果示意图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术进行详细说明。图3是本专利技术掩膜板的结构示意图，图4是图3所示掩膜板的开口区的示意图。参阅图3和图4，掩膜板300包括呈阵列状分布的多个开口区310。其中，每一开口区310包括第一开口区311和第二开口区312。第一开口区311呈矩形设置，第二开口区312设置于第一开口区311的四个角，即第二开口区312构成与第一开口区311连通的侧翼，并且每一第二开口区312设置的宽度沿着远离第一开口区311的方向逐渐减小。在本实施例中，第二开口区312与第一开口区311 —体成型，且采用蚀刻或电铸工艺成型。基于此，掩膜板300的材质可以为任何合适的材料，并以具有高结构强度或低膨胀系数的磁性材料为佳，举例而言，掩膜板300的材质可以为各式金属或合金，例如为铁镍合金(Invar)ο图5是采用图3所示掩膜板300的蒸镀装置的结构示意图。如图5所示，蒸镀装置600包括掩膜板300、蒸镀源620以及加热装置630。蒸镀装置600用于对放置于掩膜板300上的基板640进行蒸镀处理,其中，加热装置630用于加热蒸镀源620，蒸镀源620与掩膜板300平行间隔设置，用于在达到一定温度后为基板640提供有机发光材料，以在基板640上形成有机发光显不面板的有机发光层。需要说明的是，蒸镀装置600在蒸镀成膜时，必须设置于真空密闭的空间内。图6是采用图5所示蒸镀装置600制造有机发光显示面板的蒸镀方法的流程图。如图6所示，本专利技术制造有机发光显示面板的蒸镀方法包括以下步骤步骤S 101 :提供一掩膜板，掩膜板包括呈阵列分布的多个开口区，且每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。步骤S102 :提供一基板，与掩膜板相邻设置。步骤S103 :在真空且密闭的空间内，通过掩膜板的开口区向基板提供有机发光材料以形成有机发光层，其中，有机发光材料由设置于掩膜板远离基板一侧的蒸镀源提供。 下面结合图5和图6，详细说明采用图3所示的掩膜板300制造有机发光显示面板的蒸镀过程首先，将蒸镀源620设置于一真空且密闭的空间内，且相邻于加热装置630。然后，开启加热装置630对蒸镀源620进行加热，通过蒸发除去蒸镀源620表面的杂质。值得注意的是，在加热过程中，控制加热除杂的温度低于蒸镀所需的温度，以避免因温度过高使蒸镀源620过度蒸发造成浪费。将除杂之后的蒸镀源620移至另一真空密闭的空间内，例如蒸镀室。使用加热装置630在高温状态下对蒸镀源620进行持续性加热，蒸镀源620在达到一定温度后蒸发出有机发光材料粒子，一部分的有机发光材料粒子穿过掩膜板300的开口区310，并在接触到温度较低的基板640后以结晶状态沉积，另一部分的有机发光材料粒子在接触到温度较低的掩膜板300后以结晶状态沉积。综上所述，本专利技术通过改变掩膜板300的开口设计，对于每一开口区310，在矩形第一开口区311的两侧设置第二开口区312，将成膜不保证区320的两个圆角Rl设置在第二开口区312，使得有机发光材料粒子穿过第一开口区311在基板640上沉积时，不会形成图2所示的圆角R，由此提高了开口区310在蒸镀成膜时的成膜填充率，降低成膜无效区的面积。图7是本专利技术制造有机发光显示面板的蒸镀方法的实施效果示意图。如图7所示，本专利技术能够使成膜无效区从现有技术的大于15微米降低至5 10微米(如H2所示)，进而提高了有机发光显示面板的开口率。需要说明的是，第二开口区312的形状并不限定于图4所示的实施例，只要能够降低成膜无效区的面积，提高有机发光显示面板的开口率即可。以上所述仅为本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一所述开口区包括：呈矩形设置的第一开口区以及设置于所述第一开口区的四个角的第二开口区，所述第二开口区与所述第一开口区连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泰必，吴元均，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：