掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法。该掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。本发明专利技术通过改变掩膜板的开口区设计，能够降低开口区的成膜无效区的面积，从而提高有机发光显示面板的开口率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体而言涉及一种。
技术介绍
有机发光显示面板(Organic Light-Emitting Diode, 0LED)是一种自主发光的显示面板，其具备结构简单、省电等特性。目前，制备有机发光显示面板的过程中，掩膜板(Shadow Mask)是其中不可缺少的 一个辅助元件，图I是现有技术中掩膜板的结构示意图，图2是图I所示掩膜板的开口区的示意图。参阅图I和图2，掩膜板100包括呈阵列状分布的多个开口区110，每一开口区110呈圆角矩形，且相邻的两个圆角R之间的区域为成膜不保证区120。在使用掩膜板100蒸镀形成有机发光显示面板的有机发光层时，由于蒸镀源与不同位置的开口区110具有的角度差异，极易使得蒸镀源提供的有机发光材料在对应成膜不保证区120处的成膜填充率不足，从而导致有机发光显示面板的有机发光层的每一发光区在对应成膜不保证区120处形成高度Hl为15微米以上的成膜无效区，进而降低有机发光显示面板的开口率。综上所述，有必要提供一种，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种，以降低成膜无效区的面积，提高有机发光显示面板的开口率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一所述开口区包括：呈矩形设置的第一开口区以及设置于所述第一开口区的四个角的第二开口区，所述第二开口区与所述第一开口区连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泰必，吴元均，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：