【技术实现步骤摘要】
根据本技术实施例的多个方面涉及一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置与其他显示装置相比具有较大的视角、较好的对比度特性和较快的响应速度，因此作为下一代显示装置而备受关注。有机发光显示装置通常具有包括阳极、阴极及置于阳极和阴极之间的发射层的堆 叠结构。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合而发光时，这样的装置显示有颜色的图像。然而，利用这种结构难以实现高的发光效率，因此包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层可以额外地置于发射层和每个电极之间。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不容易制造例如大尺寸的有机发光显示装置和/或用于制造有机发光显示装置的有机层沉积装置的问题和/或其他问题，根据本技术实施例的多个方面在于提供一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法，该有机层沉积设备可以容易地制造，可以应用于以简单的方式大规模地制造大型显示装置，并且提高了制造产率和沉积效率。根据本技术的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括静电吸盘，支撑...
【技术保护点】
一种有机层沉积设备，其特征在于，所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，支撑基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件在由静电吸盘支撑的基板上沉积至少一层有机层；以及第一输送器单元，穿过所述室并且将支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元包括引导单元，引导单元包括接纳构件，以使在静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时使静电吸盘能够沿着一定的方向移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开，基板或有机层沉积组件被构造成在沉积过程中相对于另一者移动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张锡洛，南命佑，康熙哲，金钟宪，洪钟元，蒋允豪，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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