有机层沉积设备和有机发光显示装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种有机层沉积设备和一种有机发光显示装置。所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，固定地支撑作为沉积目标的基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层；第一输送器单元，用来将固定地支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元穿过室的内部，第一输送器单元包括引导单元，引导单元具有接纳构件，用来使静电吸盘可沿着一定的方向移动。根据本实用新型专利技术的有机层沉积设备可以容易地制造，可以应用于以简单的方式大规模地制造大型显示装置，并且提高了制造产率和沉积效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

根据本技术实施例的多个方面涉及一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置与其他显示装置相比具有较大的视角、较好的对比度特性和较快的响应速度，因此作为下一代显示装置而备受关注。有机发光显示装置通常具有包括阳极、阴极及置于阳极和阴极之间的发射层的堆 叠结构。当分别从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合而发光时，这样的装置显示有颜色的图像。然而，利用这种结构难以实现高的发光效率，因此包括电子注入层、电子传输层、空穴传输层、空穴注入层等的中间层可以额外地置于发射层和每个电极之间。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不容易制造例如大尺寸的有机发光显示装置和/或用于制造有机发光显示装置的有机层沉积装置的问题和/或其他问题，根据本技术实施例的多个方面在于提供一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法，该有机层沉积设备可以容易地制造，可以应用于以简单的方式大规模地制造大型显示装置，并且提高了制造产率和沉积效率。根据本技术的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括静电吸盘，支撑基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件在由静电吸盘支撑的基板上沉积至少一层有机层；第一输送器单元，穿过所述室并且将支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元包括引导单元，引导单元包括接纳构件，以使静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时使静电吸盘可沿着一定的方向移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开，基板或有机层沉积组件被构造成在沉积过程中相对于另一者移动。在一个实施例中，有机层沉积设备还包括装载单元，将基板固定到静电吸盘；卸载单元，使已经完成沉积的基板与静电吸盘分离。第一输送器单元可以被构造为将静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元。有机层沉积设备还可以包括第二输送器单元，使与基板分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元。在一个实施例中，引导单元包括驱动单元，产生移动静电吸盘的驱动力；磁悬浮轴承，使静电吸盘悬浮在接纳构件上方而不与接纳构件接触地移动。驱动单元可以包括线性电机。线性电机可以包括设置在静电吸盘的一侧的磁轨和设置在接纳构件中的线圈。磁悬浮轴承可以包括设置在静电吸盘一侧的侧部磁悬浮轴承和设置在静电吸盘上的上部磁悬浮轴承，驱动单元可以设置在静电吸盘的一侧。磁悬浮轴承可以包括从由电磁体、永磁体、超导磁体和它们的组合组成的组中选择的磁体。在一个实施例中，有机层沉积设备还包括间隙传感器，测量接纳构件与静电吸盘之间的间隙。所述有机层沉积设备还可以包括由间隙传感器控制的磁悬浮轴承，以提供使静电吸盘悬浮在接纳构件上方的磁力。磁悬浮轴承可以包括设置在静电吸盘一侧的侧部磁悬浮轴承和设置在静电吸盘上的上部磁悬浮轴承。间隙传感器可以包括第一间隙传感器，测量静电吸盘与第一输送器单元之间的沿着第一方向的间隙；第二间隙传感器，测量静电吸盘与第一传感器单元之间的沿着与第一方向交叉的第二方向的间隙。在一个实施例中，有机层沉积设备还包括第一磁悬浮轴承，使静电吸盘悬浮而与第一输送器单兀沿着第一方向分隔开；第二磁悬浮轴承，使静电吸盘悬浮而与第一输送器单元沿着与第一方向交叉的第二方向分隔开。在一个实施例中，接纳构件包括接纳静电吸盘的相对的侧部的接纳槽。 在一个实施例中，有机层沉积组件包括设置在所述室中的多个有机层沉积组件。在一个实施例中，所述室包括彼此互连的第一室和第二室，有机层沉积组件包括设置在第一室和第二室中的每个室中的多个有机层沉积组件。在一个实施例中，有机层沉积组件包括沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置成与沉积源喷嘴单元面对并分隔开，具有多个图案化缝隙，并且比基板小。根据本技术的另一实施例，提供了一种有源矩阵有机发光显示装置，所述有源矩阵有机发光显示装置包括基板，具有至少40英寸的尺寸；利用上述有机层沉积设备形成在基板上的具有线性图案的至少一层有机层。在一个实施例中，所述至少一层有机层包括发射层(EML)。所述至少一层有机层还可以包括从由空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、电子传输层(ETL)、电子注入层(TIL)和它们的组合组成的组中选择的层。在一个实施例中，所述至少一层有机层具有不均匀的厚度。根据本技术的另一实施例，提供了一种有源矩阵有机发光显示装置，所述有源矩阵有机发光显示装置包括利用上述有机层沉积设备形成的具有不均匀的厚度的至少一层有机层。根据本技术的另一实施例，提供了一种制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括下述步骤利用静电吸盘支撑基板；利用穿过保持一定真空的室的第一输送器单元将支撑基板的静电吸盘输送到所述室中；在基板或有机层沉积组件相对于另一者移动的同时，利用设置在所述室中的有机层沉积组件在基板上沉积至少一层有机层，其中，在使静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时，利用第一输送器单元使静电吸盘在所述室中移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开。在一个实施例中，输送静电吸盘的步骤包括使静电吸盘悬浮而与第一输送器单元分隔开。输送静电吸盘的步骤可以包括由驱动单元产生驱动力以使静电吸盘移动；通过磁悬浮轴承使静电吸盘悬浮地移动而不与第一输送器单元接触。在一个实施例中，输送静电吸盘的步骤包括通过间隙传感器(621、622)测量第一输送器单元与静电吸盘之间的间隙。输送静电吸盘的步骤可以包括通过间隙传感器控制磁悬浮轴承来提供磁力；在磁力的作用下使静电吸盘悬浮地移动而不与第一输送器单元接触。磁悬浮轴承可以包括设置在静电吸盘一侧的侧部磁悬浮轴承和设置在静电吸盘上的上部磁悬浮轴承。测量间隙的步骤可以包括通过第一气隙传感器测量静电吸盘与第一输送器单元之间的沿着第一方向的间隙；通过第二气隙传感器测量静电吸盘与第一输送器单元之间的沿着与第一方向交叉的第二方向的间隙。在磁力的作用下使静电吸盘悬浮地移动而不与第一输送器单元接触的步骤可以包括通过第一磁悬浮轴承使静电吸盘与第一输送器单元沿着第一方向分隔开；通过第二磁悬浮轴承使静电吸盘与第一输送器单元沿着与第一方向交叉的第二方向分隔开。在一个实施例中，所述方法还包括在沉积有机层之后，利用第一输送器单元将已经完成沉积的基板从所述室中取出；将基板与静电吸盘分离；通过设置在所述室外部的第二输送器单元使与基板分离的静电吸盘返回，以利用静电吸盘支撑另一基板。在一个实施例中，沉积组件包括设置在所述室中的多个有机层沉积组件，顺序地利用多个有机层沉积组件执行沉积。在一个实施例中，所述室包括彼此互连的第一室和第二室，有机层沉积组件包括设置在第一室和第二室中的每个室中的多个有机层沉积组件，其中，对在第一室和第二室之间移动的基板连续地执行沉积。在一个实施例中，有机层沉积组件包括沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置成与沉积源喷嘴单元面对并分隔开，具有多个图案化缝隙，并且比基板小。在一个实施例中，第一输送器单元包括引导单元，包括接纳构件，使静电吸盘可沿着一定的方向移动；线性电机，产生移动静电吸盘的驱动力；磁悬浮轴承，使静电吸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机层沉积设备，其特征在于，所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，支撑基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件在由静电吸盘支撑的基板上沉积至少一层有机层；以及第一输送器单元，穿过所述室并且将支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元包括引导单元，引导单元包括接纳构件，以使在静电吸盘与第一输送器单元分隔开的同时使静电吸盘能够沿着一定的方向移动，其中，基板与有机层沉积组件分隔开，基板或有机层沉积组件被构造成在沉积过程中相对于另一者移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张锡洛，南命佑，康熙哲，金钟宪，洪钟元，蒋允豪，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：