OLED蒸镀罩及其加工方法技术

本发明专利技术涉及一种OLED蒸镀罩及其加工方法，包括蒸镀板，蒸镀板包括ITO接触面和蒸镀面，蒸镀板上设置有多个呈中心对称状的蒸镀孔，蒸镀孔自蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈逐渐缩小态势。本发明专利技术克服了传统工艺中出现的死角区域，使得在应用于蒸镀时，有机发光颗粒可以较大限度地到达玻璃基板上的预定位置，从而提高了OLED显示屏的质量，提高了有机发光材料的使用率和成膜率，降低了OLED显示屏的制造成本，并可有效延长蒸镀罩的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及OLED显示屏制造
，特别涉及一种OLED蒸镀罩及其加工方法。
技术介绍
有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机电致发光二极管)技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术， 该技术的等级直接影响OLED产品的质量和制造成本。在应用于蒸镀时，传统工艺的蒸镀用掩模板一般采用正反同时蚀刻工艺，虽然可以制作出带有一定锥度的开口，但由于侧蚀的原因，使得掩模板贴紧蒸镀ITO玻璃基板的铟锡氧化物接触面的铟锡氧化物接触面开口存在倒锥度，该种倒锥角的存在，产生死角区域，由于该死角区域的存在，无法达到蒸镀厚度要求，导致蒸镀材料的成膜均匀性降低，影响蒸镀质量，延长了蒸镀时间，增加制造成本。一般蒸镀用荫罩(即掩模板)的厚度在100 μ m左右，而需蒸镀的有机材料膜的厚度在IOOnm左右，荫罩上的开口尺寸最小可以是10 μ m,所以无锥度开口的侧壁势必会在蒸镀过程中产生遮挡。另一方面，如果通过减薄荫罩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED蒸镀罩，包括蒸镀板，所述蒸镀板包括ITO接触面和蒸镀面，所述蒸镀板上设置有多个呈中心对称状的蒸镀孔，其特征在于：所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈逐渐缩小态势。

【技术特征摘要】
1.一种OLED蒸镀罩，包括蒸镀板，所述蒸镀板包括ITO接触面和蒸镀面，所述蒸镀板上设置有多个呈中心对称状的蒸镀孔，其特征在于所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈逐渐缩小态势。2.如权利要求I所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述蒸镀孔包括同轴的第一段和第二段，所述第一段呈喇叭状，第二段呈喇叭状或锥形。3.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述蒸镀板的厚度为18 190μ m。4.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述蒸镀孔在第一段的倾角为35 45度。5.如权利要求2所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述第二段为锥形，且锥角为Γ10度。6.如权利要求5所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述第二段的垂直深度为8 20 μ m07.如权利要求6所述的OLED蒸镀罩，其特征在于所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：唐军，钱超，
类型：发明
国别省市：