有机气相喷射印刷制造技术

提供沉积有机材料的方法。提供一个腔室，该腔室具有位于其中的基材。通过由指向基材的喷嘴（422，462）喷射第一气体以及由该第一气体携带的有机材料的蒸气而在该基材上方沉积该有机材料。在沉积有机材料过程中，在腔室中提供第二气体。第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少5%。第二气体具有比第一气体的分子量大至少20%的分子量。通过远离喷嘴的孔（424，464）在腔室中提供第二气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机气相喷射印刷(0VJP)。
技术介绍
由于很多原因，利用有机材料的光电器件变得越来越受欢迎。用于制备这样的器件的很多材料比较廉价，因此有机光电器件在相对于无机器件的成本优势方面具有潜力。 此外，有机材料的固有特性，例如它们的柔性，可以使得它们良好地适用于特定应用，例如在柔性基片上制造。有机光电器件的实例包括有机发光器件(OLEDs)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电探测器。对于OLEDs，有机材料可以具有优于常规材料的性能。例如，有机发光层发射的波长通常可以容易地用合适的掺杂剂进行调整。OLEDs利用当跨器件施加电压时发光的有机薄膜。OLEDs正在成为在诸如平板显示、照明和背光的应用中越来越有利的技术。多种OLED材料和构造记载于美国专利 No. 5，844，363,6, 303，238和5，707，745中，它们全部通过引用纳入本文。沉积OLED和其它有机器件的一种途径是有机气相喷射印刷(OVJP)。OVJP的一般原则已记载于2008年7月29日颁布的美国专利No. 7，404，862、2010年6月29日颁布的美国专利No. 7，744，957,2008年10月7日颁布的美国专利No. 7，431，968,2010年5月25日颁布的美国专利No. 7，722，927和2008年2月21日提交的美国专利申请No. 12/034, 683, 它们全部通过引用纳入。本文中使用的术语“有机”包括可以用于制备有机光电器件的聚合物材料和小分子有机材料。“小分子”指的是非聚合物的任何有机材料，并且“小分子”实际上可以相当大。 在某些情况下小分子可以包含重复单元。例如，使用长链烷基作为取代基并不会将该分子排除在“小分子”类别之外。小分子也可以纳入聚合物中，例如作为聚合物主链的侧挂基团或者作为主链的一部分。小分子也可以充当树枝状化合物的核心结构部分，该化合物包括一系列构建在核心结构部分上的化学壳。树枝状化合物的核心结构部分可以是荧光或磷光小分子发光体。树枝状化合物可以是“小分子”，并且据信目前在OLEDs领域使用的所有树枝状化合物都是小分子。本文中使用的“顶部”指的是离基片最远，而“底部”指的是离基片最近。在将第一层描述为“位于第二层上”的情况下，第一层距离基片更远。在第一层和第二层之间可以存在其它层，除非明确指出第一层与第二层“接触”。例如，可以将阴极描述为“位于阳极上”， 即使其 间存在多种有机层。关于OLEDs以及上述定义的更多细节，可以见美国专利No. 7，279，704,其全部公开内容通过弓I用纳入本文。
技术实现思路
提供了沉积有机材料的方法。提供一个腔室，该腔室具有位于其中的基材。通过由指向基材的喷嘴喷射第一气体以及由该第一气体携带的有机材料的蒸气而在该基材上方沉积该有机材料。在沉积有机材料过程中，在腔室中提供第二气体。第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少5%。第二气体具有比第一气体的分子量大至少 20%的分子量。通过远离喷嘴的孔在腔室中提供第二气体。优选地，第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少30%。更优选地，第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少60%。优选地,在沉积有机材料的过程中,真空腔室中的总压力在ImTorr和ITorr之间。第一气体优选为N2。第二气体优选地选自Ar、Kr、氟里昂、Xe、CO2和肝6。第二气体可以是单一的材料。第二气体可以是不同气体的混合物，所述不同气体各自具有比第一气体的分子量大至少20%的分子量。第二气体优选地具有比第一气体的分子量大至少100%的分子量。第二气体可以是材料的混合物，所述材料各自具有比第一气体的分子量大至少100%的分子量。该腔室可以是真空腔室。提供了沉积有机材料的方法。提供一个腔室，该腔室具有位于其中的基材。通过由指向基材的喷嘴喷射第一气 体以及由该第一气体携带的有机材料的蒸气而在该基材上方沉积该有机材料。在沉积有机材料过程中，在腔室中提供第二气体。第二气体具有比第一气体的分子量大至少20%的分子量。通过远离喷嘴的孔在腔室中提供第二气体。该喷嘴具有一个具有最小尺寸的孔。有机材料在基材上方沉积成图案化特征，该图案化特征具有由孔的形状限定的形状。在有机材料的沉积过程中，腔室中的第二气体的分压足以将在距离图案化特征边缘一个最小尺寸处沉积的有机材料的量与没有第二气体情况下进行的相同沉积相比降低一半。附图说明图1示出有机发光器件。图2示出不具有独立的电子传输层的倒置的有机发光器件。图3示出在垂直于气流的方向截取的四种不同喷嘴几何形状的截面。图4示出其中沉积材料的两个腔室，一个具有轻的环境气体，另一个具有重的环境气体。图5示出发射比率和与沉积边缘的距离的关系图，它提供了沉积过程中发生多少超范围喷涂的度量。具体实施方式通常，OLED包括位于阳极和阴极之间并且与阳极和阴极电连接的至少一个有机层。当施加电流时，阳极向有机层中注入空穴，阴极向有机层中注入电子。注入的空穴和电子各自向带相反电荷的电极迁移。当电子和空穴局限于同一分子中时，形成“激子”，它是具有激发能态的局域化的电子-空穴对。当激子通过发光机理弛豫时，发射出光。在一些情况下，激子可以局域化在激发体或激发复合体上。也可以发生非辐射机理，例如热弛豫，但是通常将其视为不合需要的。图1显示了有机发光器件100。这些图不一定按比例绘制。器件100可以包括基片110、阳极115、空穴注入层120、空穴传输层125、电子阻挡层130、发光层135、空穴阻挡层140、电子传输层145、电子注入层150、保护层155和阴极160。阴极160是具有第一导电层162和第二导电层164的复合阴极。器件100可以通过将上述层按顺序沉积而制备。 这些不同的层的性质和功能以及材料实例更具体地记载于US7，279，704的第6_10栏中，其通过引用纳入本文。可以获得这些层中的每种的更多实例。例如，柔性且透明的基片-阳极组合公开于美国专利No. 5，844，363中，其全部内容通过引用纳入本文。P型掺杂的空穴传输层的一个实例是以50:1的摩尔比用F4-TCNQ掺杂的m-MTDATA，公开于美国专利申请公布 No. 2003/0230980中，其全部内容通过引用纳入本文。发光材料和主体材料的实例公开于 Thompson等人的美国专利No. 6，303, 238中，其全部内容通过引用纳入本文。η型掺杂的电子传输层的一个实例是以1:1的摩尔比用Li掺杂的BPhen，公开于美国专利申请公布 No. 2003/0230980中，其全部内容通过弓I用纳入本文。美国专利No. 5，703，436和5，707，745 (其全部内容通过引用纳入本文)公开了包括复合阴极的阴极的实例，其具有金属如Mg:Ag 的薄层，具有覆盖的透明导电溅射沉积ITO层。阻挡层的理论和用途更详细地记载于美国专利No. 6，097, 147和美国专利申请公布No. 2003/0230980中，其全部内容通过弓I用纳入本文中。注入层的实例提供于美国专利申请公布No. 2004/0174116中，其全部内容通过引用纳入本文。关于保护层的说明可以见于美国专利申请公布No. 2004/0174116中，其全部内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，其包含 提供一个腔室，该腔室具有位于其中的基材； 通过由指向基材的喷嘴喷射第一气体以及由该第一气体携带的有机材料的蒸气而在该基材上方沉积该有机材料； 在沉积有机材料过程中，在腔室中提供第二气体； 其中 第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少5% ； 第二气体具有比第一气体的分子量大至少20%的分子量；并且 通过远离喷嘴的孔在腔室中提供第二气体。2.权利要求1的方法，其中第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少30%。3.权利要求1的方法，其中第二气体的流速为流入真空腔室的所有气体的流速之和的至少60%。4.权利要求1的方法,其中在沉积有机材料的过程中,真空腔室中的总压力在ImTorr和ITorr之间。5.权利要求1的方法，其中第一气体为N2。6.权利要求1的方法，其中第二气体选自Ar、Kr、氟里昂、Xe、CO2和肝6。7.权利要求1的方法，其中第二气体是单一的材料。8.权利要求1的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·E·巴劳斯，S·H·莫罕，
申请(专利权)人：通用显示公司，
类型：
国别省市：