【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学加工
，特别涉及一种零疵病光学零件加工过程中的清洗方法，该方法适用于精密光学零件每个面抛光完成后的成盘清洗，目的在于提高光学零件的表面疵病等级。
技术介绍
超精密加工技术能力已经成为当今国家科技水平的一个重要体现，当超精密加工达到亚纳米量级时，其表面的清洁程度成为了一项重要的技术指标，目前应用于该领域的清洗方法很多，有溶液溶解、微腐蚀法和超声法、兆声法、等离子法等，但这些清洗方法均是针对光学零件成品的清洗方法，当某些微细加工辅料，如抛光粉的吸附能力过强时，上述清洗方法便不能完全发挥其作用。因此，亟需研究一种能够有效减少辅料对抛光表面的污染，降低最终光学清洗的难度，提高光学零件的表面疵病等级的清洗方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，该方法能够有效地提高精密光学零件的表面清洁程度。为了实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案，包括以下步骤在光学零件加工过程中对光学零件进行清洗，减少辅料对抛光表面的污染，加工完成后对光学零件再进行清洗。所述加工过程中对光学零件进行清洗包括以下步骤首先用质量分数20-40%的醋酸水溶液浸泡光学零件3-5...
【技术保护点】
一种零疵病光学零件清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：在光学零件加工过程中对光学零件进行清洗，减少辅料对抛光表面的污染，加工完成后对光学零件再进行清洗。
【技术特征摘要】
1.一种零疵病光学零件清洗方法，其特征在于，包括以下步骤在光学零件加工过程中对光学零件进行清洗，减少辅料对抛光表面的污染，加工完成后对光学零件再进行清洗。2.根据权利要求1所述一种零疵病光学零件清洗方法，其特征在于所述加工过程中对光学零件进行清洗包括以下步骤首先用质量分数20-40%的醋酸水溶液浸泡光学零件 3-5min，...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔杰，弋建鱼，郭磊，
申请(专利权)人：西安北方捷瑞光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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