【技术实现步骤摘要】
一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具
本技术涉及光学器件
,尤其涉及一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具。
技术介绍
ZYGO非接触式激光干涉仪是用于精密光学元件的表面面形和透射波阵面等的检测的光学检测仪器。ZYGO非接触式激光干涉仪运用移相干涉原理,能够对高精度的平面面形、球面面形、曲率半径等光学零件进行测量和分析,ZYGO非接触式激光干涉仪能够利用互动图形界面控制仪器,系统操作简单,已广泛被光学器件生产厂家采用。在使用ZYGO非接触式激光干涉仪对光学零件进行测量和分析时,需要先将光学零件固定在仪器平台上的测量定位夹具上,由于生产时光学零件的规格种类比较多、每个光学零件可能需要测量光学零件中的几个位置点,因此在测量时需要经常调节放置光学零件的测量定位夹具的三个轴向的位置,而ZYGO非接触式激光干涉仪配备一般都是固定式的测量定位夹具,现有技术只能采用增减垫块或手动移位摆位等方式进行调节,这种调节方式比较难以快速调整到位,在测量时需要花费较多的定位调整时间,需要进一步改进。
技术实现思路
为克服现有技术的不足,本技术提供了一种操作方便、定位精度高、调节测量效率高的ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具。本技术为达到上述技术目的所采用的技术方案是:一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具,包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台,所述测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具,所述固定夹具设于一个三轴调节夹具上,所述固定夹具和三轴调节夹具设于一个防护罩中,所述防护罩中设有一个便于翻转的防护盖,所述三轴调节夹具中设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴 ...
【技术保护点】
一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具,其特征在于:包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台,所述测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具,所述固定夹具设于一个三轴调节夹具上,所述固定夹具和三轴调节夹具设于一个防护罩中,所述防护罩中设有一个便于翻转的防护盖,所述三轴调节夹具中设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴夹角的精密旋转台,所述精密旋转台上设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴偏移位置的水平调节平台,所述水平调节平台上设有一个能够调节所述固定夹具垂直高度的高度调节平台,所述精密旋转台中设有螺旋调节旋钮和旋转角度指示刻度盘,所述高度调节平台中设有两个同步螺旋调节旋钮,两个所述同步螺旋调节旋钮分别设于所述高度调节平台的对角线上。
【技术特征摘要】
1.一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具,其特征在于:包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台,所述测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具,所述固定夹具设于一个三轴调节夹具上,所述固定夹具和三轴调节夹具设于一个防护罩中,所述防护罩中设有一个便于翻转的防护盖,所述三轴调节夹具中设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴夹角的精密旋转台,所述精密旋转台上设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴偏移位置的水平调节平台,所述水平调节平台上设有一个能够调节所述固定夹具垂直高度的高度调节平台,所述精密旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈从贺,
申请(专利权)人:福州恒光光电有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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