用于测量测量目标的具有镜面装置的干涉仪制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种用于对测量目标（５），特别是测量目标（５）的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置（１）。在这种情况中，专用镜头（４５）设有镜面装置（４０），该镜面装置由至少一个第一偏转镜面（６０）和一个第二偏转镜面（６５）组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面（６０）或者说第二偏转镜面（６５）的目标光线（２５）对准彼此反向平行的第一光程（８０）或者说第二光程（８５）中的待测量的测量目标（５）的第一侧面（７０）或者说与它平行的第二侧面（７５）。镜面装置（４０）附加地具有至少一个用于投影待测量的测量目标（５）相对于第一偏转镜面（６０）和／或第二偏转镜面（６５）的位置的第一位置镜面（７０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
本专利技术涉及一种具有镜面装置的、用于测量测量目标、特别是用于测量测量目标的厚度的干涉仪式的测量装置。在某种情况下干涉仪系统适用于无接触地检测不同测量目标的表面。为了采集待检测目标的表面轮廓，一个目标光线由干涉仪的光源打到待测量区域的表面上。从该表面反射回来的目标光线被输送给干涉仪的探测器，并且和基准光线一起形成一个干涉图形，从该干涉图形中可以推导出两个光线的行程差。所测得的两个光线的行程差相当于该表面的表面形状变化。特别是采用一种其光源发出短相干光线的白光干涉仪时也可借助深扫描对测量目标进行扫描。例如如在未预公布的专利申请DE-10325443.9中所描述的那样，在这种情况中该短相干光线通过一个分光器分成一个目标光线和一个基准光线。待测量的目标表面通过一个镜头投影到一个摄像机上，例如一个CCD照相机(“电荷耦合装置”照相机)，并且被通过基准光线形成的基准波重叠。深度扫描可通过反射基准光线的基准镜面或者镜头相对于测量装置的运动进行。在目标运动时目标的图象平面和基准平面处在同一平面内。在深度扫描时目标固定地保持在CCD照相机的视场中，并且目标仅沿深度轴线相对于基准平面作运动。这本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于对测量目标（５）特别是对测量目标（５）的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置（１），其具有光源（１０）、用于形成基准光线（２０）和目标光线（２５）的分光器（１５）、在基准光程（３５）中的基准镜面（３０）、在目标光程（５０）中的具有镜面装置（４０）的专用镜头（４５）和摄像机（５５），其中，镜面装置（４０）由至少一个第一偏转镜面（６０）和一个第二偏转镜面（６５）组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面（６０）或者说第二偏转镜面（６５）的目标光线（２５）对准在彼此反向平行的第一光程（８０）或者说第二光程（８５）中的待测量的测量目标（５）的第一侧面（７０）或者说与它平行的第二侧面（７５）...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J施特雷勒，
申请(专利权)人：罗伯特博世有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]