【技术实现步骤摘要】
本专利技术的目的是要提供使用激光干涉仪进行测量时，特别在距离测量时的一种改善测量精度的方法。当要求精确的测量精度时，例如在机器制造业中，激光干涉仪被用于距离测量，因为它们比其它方法更精确。然而，激光干涉仪的精度取决于多种因素，比如，激光光束波长与介质折射率的关系。因为使用激光干涉仪进行的距离测量基于光的波长，为了获得足够精确的结果，必须知道介质的折射率，实际上，这些测量中的介质是空气，它的折射率与气压、温度、湿度和气体(如二氧化碳)浓度有关。由于测量区域中各点之间温差引起的气团快速和恒定的运动以及空气动力学效应，空气温度变化很大。因为空气温度的变化，沿着激光干涉仪激光光束路径的积分瞬时温度就不能用激光干涉仪使用的目前已知的温度计精确地测量。在可以买到的激光干涉仪设备中，空气的折射率靠测量空气中的上述量来确定，然后计算它们对波长的影响。为此目的，目前可用的设备装有传感器以测量空气的温度、气压，有时也测量湿度。典型地，有一至三个用于测量空气温度的温度计。激光干涉仪中目前使用的空气温度计基于传感器温度变得与周围空气温度相同这样的现象。这些温度计仅允许测量邻近激光光...
【技术保护点】
一种改善激光干涉仪（１，２）测量的，特别是距离测量的精度的方法，其特征在于，通过测量行进相同路径的声（５）速，沿着激光干涉仪发射的激光光束（３）整个路径确定空气温度的影响，并使用获得的结果值计算关于测量值，特别是距离测量值，的依赖于空气温度的校正值。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：列昂尼德米哈尔佐夫，
申请(专利权)人：列昂尼德米哈尔佐夫，
类型：发明
国别省市：FI[芬兰]
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