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激光干涉仪测量冶具制造技术

技术编号:2512777 阅读:312 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种激光干涉仪测量冶具,有测量环环体,在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。本实用新型专利技术结构合理,由于钢珠表面是光滑的,不会划伤被测光学零件,而且钢珠不容易磨损,保证了测量精度,且三个受力点均匀,进一步提高了测量精度。(*该技术在2017年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

:本技术涉及一种激光干涉仪的配套部件。
技术介绍
:激光干涉仪是光线零件面形精度检测的国际通用必备仪器,它的精度一般在/20以上,该仪器有立式和卧式两大类。目前,国内外用户大都采用立式〔垂直式〕干涉仪,因为垂直式干涉仪在检测零件时,被测镜片直接放置在测量环上,调整和测量镜片方便、快捷,适合批量检测。卧式干涉仪是用镜片夹持器固定被测镜片,检测比较稳定,但检测速度慢,而且仪器价格昂贵,是立式的几倍价格,在生产线使用代价太高。垂直式干涉仪虽然能快速检测,但承座被测镜片的冶具(测量环〕的平行度和垂直度以及环口的宽度,直接影响到被测光学零件的检测精度,目前国内外垂直干涉仪使用的冶具,包括干涉仪长家提供的冶具都是根据零件的不同,采用圆环式,接触零件表面的环口,加工成平行于底座的平面,环口的宽度一般在0.2mm左右,检测时,被测零件直接放在环口上,如果环口光洁度不好,很容易划伤零件,造成零件报废,由于零件和冶具是整体接触,容易造成环口的磨损,影响测量精度,因为被测镜片直接座落在测量环口上,如果环口平行度不好,被测镜片不能全部接触环口,或垂直度不好,造成倾斜,激光通过被测镜片后,光束产生偏离中心,而造成判读误差,影响测量精度。
技术实现思路
:本技术的目的在于提供一种不会划伤被测光学零件,测量精度好的激光干涉仪测量冶具。本技术的技术解决方案是:一种激光干涉仪测量冶具,其特征是:有测量环环体,在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上。-->本技术结构合理,由于钢珠表面是光滑的,不会划伤被测光学零件,而且钢珠不容易磨损,保证了测量精度,且三个受力点均匀,进一步提高了测量精度。附图说明:下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。图1是本技术一个实施例的结构示图。图2是图1的A-A视图。具体实施方式:一种激光干涉仪测量冶具,有测量环环体1,在测量环环体1上表面装三个等分设置、支承被测镜片2的钢珠3。三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上,保证被测镜片完全接触钢珠。-->本文档来自技高网...
激光干涉仪测量冶具

【技术保护点】
一种激光干涉仪测量冶具,其特征是:有测量环环体,在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。

【技术特征摘要】
1、一种激光干涉仪测量冶具,其特征是:有测量环环体,在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片...

【专利技术属性】
技术研发人员:康贻兵钱维全崔北银于晖刘海燕
申请(专利权)人:吴迪富
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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