一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台制造技术

一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、工作台、弹性顶紧机构端盖、弹性顶紧机构端盖螺钉、弹性顶紧机构顶丝、弹性顶紧机构。本发明专利技术结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度亚微米级精度的无耦合运动，并可承载一定弯矩载荷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种精密机械技术中微驱动和微定位的工作台机构，具体涉及一种Z- Θ X- Θ y三自由度亚微米级精度、抗一定弯矩、无耦合运动的工作台，可用于精密测量、生物医学、微电子器件制造等领域。
技术介绍
微定位、微操作技术是高精密仪器的基础之一，在超精密检测领域(如扫描探针式显微镜)、生物医学领域(如细胞内药物注射)等，有着广泛的应用和需求。目前该 技术多以压电陶瓷(PZT)作为驱动器，使其柔性结构或弹性结构产生弹性变形，以此实现微定位。经过对现有技术的文献检索发现，中国专利号200810038553. 0，专利技术名称X-Y-Z三自由度串联式纳米级微定位工作。该专利公开了一种使工作台沿X-Y-Z三个方向水平平移的实现方法。此机构采用压电陶瓷驱动器，并分别采用x、Y、z三个位移放大器，同时各运动工作台按顺序依次连接，使得该工作台各自由度之间运动无耦合，并可扩大行程。此外，中国专利号200510098315. 5，专利技术名称Χ-Υ-Θ三自由度微动工作台。该专利公开了一种可使工作台沿X、Y方向水平平移，并绕Θ向旋转的实现方法。上述两种工作台，前者均以轴向平移为主，缺乏旋转自由度；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Z?θx?θy三自由度抗弯矩高精度工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器螺钉(1)、压电陶瓷驱动器端盖(2)、压电陶瓷驱动器端盖螺钉(3)、压电陶瓷驱动器(4)、圆筒(5)、圆形片工作台(6)、弹性顶紧机构端盖(7)、弹性顶紧机构端盖螺钉(8)、弹性顶紧机构顶丝(9)及弹性顶紧机构(10)；其中，在圆形片工作台(6)的一侧设有3支压电陶瓷驱动器(4)，压电陶瓷驱动器(4)为圆周均布，压电陶瓷驱动器(4)的工作端与圆形片工作台(6)紧密接触；压电陶瓷驱动器(4)的固定端通过压电陶瓷驱动器螺钉(1)与压电陶瓷驱动器端盖(2)紧密固定；圆形片工作台(6)的另一侧，与压电陶瓷驱动器(4)相对应的位...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭大川，翟嘉，吴永前，张灿，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：