【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜装备，尤其涉及一种连续式卷绕溅射镀膜机。
技术介绍
连续式卷绕溅射镀膜机已经在工业生产领域取得广泛使用，主要应用于在·PETfilm等柔性基材上沉积金属、金属氧化物介质等形成各种具有某一特定功能的复合薄膜材料，如汽车、建筑玻璃等隔热膜，ΙΤ0/ΡΕΤ透明导电膜等。该设备的技术集成度高，与工艺配合紧密，制造难度大，很多实际使用中的设备在结构上或工艺配置上都有它的独特性。该类设备的主结构包括一个圆柱状金属材质的真空腔体，参考图1设备核心的工作机构一溅射阴极系统纵向布置于圆柱体的内腔壁上，根据要生产的产品功能要求，布置I至7套阴极系统不等，每一套阴极可以溅射不同的材料以实现产品要求的不同的功能膜层。目前，德国莱宝真空，韩国PNT，国内的中方盖德等公司都在生产销售同类设备，一般根据用户要求进行设计与定制。现有的该类设备的一个共同点是所有的阴极系统都安装在圆柱形真空腔体的内壁上，各个阴极基本处于同一个气氛条件下，其主要技术缺陷是各阴极的工作气氛相互影响，难于实现镀制不同功能膜层时对工作气氛的不同要求。再次参考图1，一些设备提出了“室内小腔””的结构0...
【技术保护点】
一种连续式卷绕溅射镀膜机，包括真空镀室，其特征在于：还包括阴极小室，阴极小室的开口直接连通所述真空镀室，所述阴极小室突出于真空镀室的侧壁之外；所述阴极小室的侧壁具有冷却板，冷却板内具有与制冷装置连通的水管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：金烈，
申请(专利权)人：深圳市金凯新瑞光电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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