一种高致密铬合金靶材的生产方法技术

本发明专利技术涉及一种高致密铬合金靶材的生产方法，其包括依次进行的真空脱气、阶段性升温加、保压炉冷、热锻、退火、热轧、退火以及机加工步骤，其中：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料。本发明专利技术能够成功获得成分与密度均匀、晶粒大小小于100微米、纯度大于99.9%、相对密度大于99%、氧含量小于1000ppm的高致密铬合金靶材。此外，本发明专利技术方法生产成本低，工艺过程简单易控。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于新材料
，具体涉及一种铬合金靶材的生产方法。
技术介绍
金属铬(Cr)是稍带蓝色的银白色金属。铬在大气中有强烈的钝化能力，能长久保持光泽，铬对多种酸及强碱有很好的耐腐蚀性，化学稳定性好。铬还有高硬度、高电阻率等特点。由于铬的多种特性，采用各种表面技术制备的铬及其合金或化合物膜层在表面工程中得以广泛应用，例如机械功能膜层、微电子薄膜、电磁功能薄膜、光学薄膜、装饰功能膜层等等。随着高新技术的发展，在微电子半导体集成电路、大型幕墙玻璃和汽车后视镜等
，需要使用性能各异、要求不同的高纯铬合金溅射靶材。溅射镀膜是利用溅射现象来达到制取各种薄膜的目的，即在真空室中利用荷能离子轰击靶材表面，使被轰击出的粒子在基体上沉积形成薄膜。由于磁控溅射镀膜具有附着性好、膜质较致密、节水节电、无三废处理等优点，使得它具有着很大的应用优势。目前广泛采用的铬合金靶材生产方法主要为热等静压法，经过氢气还原，脱气处理，在大于lOOMPa，1200°C以上的环境下烧结成型，制成高密度铬合金靶材，但成本较高，工艺复杂，特别是制造大规格靶材。热压法是一种较新颖的铬合金靶材生产方法，制造的铬合金靶材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高致密铬合金靶材的生产方法，所述的铬合金为铬与选自镍、硅、钛、钴、铂中的一种或多种的合金，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤：（Ⅰ）、真空脱气：采用?200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料，均匀混料后，将原料放入模具中，首先加压4~6MPa，然后在真空度保持为10?3Pa以下的环境下，以250~400℃/h的加热速率加热至500~800℃，保温40~80min，充入氩气；（Ⅱ）、阶段性升温加压：加压至9~12MPa，然后以150~250℃/h的加热速率加热至550~1100℃，保温40~80min；然后以90~110℃/...

【技术特征摘要】
1.一种高致密铬合金靶材的生产方法，所述的铬合金为铬与选自镍、硅、钛、钴、钼中的一种或多种的合金，其特征在于所述的生产方法包括依次进行的如下步骤 (I )、真空脱气采用-200目、纯度为99. 95wt%以上、氧含量为IOOOppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料，均匀混料后，将原料放入模具中，首先加压4 6MPa，然后在真空度保持为10_3Pa以下的环境下，以25(T400°C /h的加热速率加热至50(T80(TC，保温40 80min，充入氩气； (II)、阶段性升温加压加压至9 12MPa，然后以15(T250°C/h的加热速率加热至55(Tll00°C，保温4(T80min ;然后以90^110 °C /h的加热速率加热至60(Tl40(TC，保温4(T80min，从1100°C开始，在温度上升的过程中温度每上升4(T60°C增加I. 5 2. 5MPa压力，加热截止温度为135(Tl500°C，直至压力为2(Tl00MPa ； (III)、保压炉冷保持2(Tl00MPa的压力，停止加热，靶材随炉冷； (IV)、热锻锻造温度为40(Tl20(TC，变形率为 0. l%/mirT20%/min ； (V)、退火在300°C 700°C温度下保温3 5小时进行去应力退火； ...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟小亮，王广欣，王树森，
申请(专利权)人：苏州晶纯新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：