下载连续式卷绕溅射镀膜机的技术资料

文档序号:8485277

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发明涉及真空镀膜装备,尤其涉及一种连续式卷绕溅射镀膜机,包括真空镀室,还包括阴极小室,阴极小室的开口直接连通所述真空镀室,所述阴极小室突出于真空镀室的侧壁之外;所述阴极小室的侧壁具有冷却板,冷却板内具有与制冷装置连通的水管;本发明提供一种气...
该专利属于深圳市金凯新瑞光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市金凯新瑞光电有限公司授权不得商用。

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