复合式等离子体表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种复合式等离子体表面处理装置。特别地该表面处理装置具有一个真空腔，真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。应用本实用新型专利技术该种表面处理装置，突破了不同材料类型及本身形状的限制，增广了适用范围；并且，切换操作简便，提高了处理装置的整体利用率，降低了生产成本，实现了生产自动化。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于对材料进行表面物理化学处理的装置，尤其涉及一种应用于干式气相反应、可用于处理各种材料类型的等离子体表面处理装置。
技术介绍
等离子体表面处理技术是指利用等离子体中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要，是制备新材料的重要方法。等离子体表面处理技术具有节能环保的特点，在新材料领域有着广泛的 用途和市场。等离子体表面处理装置是实现等离子体表面处理技术的基本条件和必备基础。等离子体表面处理装置的研制现状被处理材料不同，等离子体处理装置必须不同，否则难以进行。目前大量进行等离子体表面处理的材料有卷状薄膜类材料、块状类材料、颗粒或粉状类材料；三类材料进行处理时，必须设计不同的处理腔体，否则不能满足需要。一般情况下，卷状薄膜类材料表面处理中央竖放电极组，两侧布置收、放料辊，薄膜从电极间穿过；块状类材料中央平放电极组，样品置于下电极板上；颗粒或粉状类外置电极，真空腔内部设有转鼓，转鼓内装颗粒或粉状类样品。另外，当对被处理材料进行活化或者本文档来自技高网...

【技术保护点】
复合式等离子体表面处理装置，其特征在于：所述表面处理装置具有一个真空腔，所述真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，所述真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中所述转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，所述内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，所述外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。

【技术特征摘要】
1.复合式等离子体表面处理装置，其特征在于所述表面处理装置具有一个真空腔，所述真空腔外侧设有可放电在真空腔内侧形成等离子体的外正电极和外负电极，所述真空腔内侧设有放料辊、收料辊、转鼓、内正电极板和内负电极板，其中所述转鼓为可于真空腔内外侧进出切换的容器单元，所述内正电极板和内负电极板为可于水平向及竖直向翻转切换的板件单元，所述外正电极、外负电极、内正电极板和内负电极板外连至电控器。2.根据权利要求I所述的复合式等离子体表面处理装置，其特征在于所述真空腔内设有一根以上的导料...

【专利技术属性】
技术研发人员：温贻芳，丁琳，王红卫，
申请(专利权)人：苏州工业职业技术学院，
类型：实用新型
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