刻蚀电极机中的下电极装置制造方法及图纸

刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，具有对晶圆片吸附能力、有绝缘性，同时对刻蚀过程产生的热量有冷却功能，能够保证加工质量，提高工作效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体介质刻蚀机，尤其涉及刻蚀电极机中的下电极装置。
技术介绍
电介质刻蚀机是半导体芯片加工的关键设备，而电介质刻蚀机中实现晶圆刻蚀功能的是上、下两个电极组成的电极装置。其中上电极接1000V左右的正电，实现对等离子刻蚀气体的分配和控制功能，下电极与大地连接，也称为负极。上、下两电极间形成高压电场对通过上电极的等离子工作气体进行加速，经加速后的工作气体对放置在下电极上的晶圆进行高速轰击，从而产生刻蚀作用。为了实现所述的工作原理，要求下电极具有对晶圆片吸附能力、有绝缘性，同时对刻蚀过程产生的热量有冷却的功能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种具有对晶圆片吸附能力、有绝缘性，同时对刻蚀过程产生的热量有冷却功能的刻蚀电极机中的下电极装置。本技术的目的是这样实现的，刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘、支撑座，其特征在于所述的支撑座上面设置有承载盘，承载盘与支撑座按对应位置焊接为一体。本技术所述的承载盘包括冷却液入口、沟槽、冷却液出口、真空通道、顶针孔、密封圈槽、晶圆片放置平台。本技术所述的承载盘与支撑座焊接时，确保承载盘上的冷却液入口及冷却液出口与支撑座上的冷却液入口及冷本文档来自技高网...

【技术保护点】
刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），其特征在于：所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。

【技术特征摘要】
1.刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘(I)、支撑座(2)，其特征在于所述的支撑座(2 )上面设置有承载盘(I)，承载盘(I)与支撑座(2 )按对应位置焊接为一体。2.根据权利要求I所述的刻蚀电极机中的下电极装置，其特征在于所述的承载盘(I)包括冷却液入口(15)、沟槽(11)、冷却液出口(14)、真空通道(12)、顶针孔(13)、密封圈槽(16)、晶圆片放置平...

【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：