用于硅片加工设备的晶托搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。对待搬运的晶托进行搬运作业时，将所述卡具装置的卡头从所述晶托的两侧插入所述晶托的通孔中，且所述卡具装置至少设置在所述晶托的两端，所述晶托在搬运过程中受力较为均匀，不会发生大幅度的晃动或滑落的现象，也不会对操作人员和所述晶托造成伤害，经过一次搬运即可完成晶托的搬运作业，显著提高了搬运过程中的安全性以及搬运的效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

用于硅片加工设备的晶托搬运装置
本技术涉及光伏领域，特别涉及一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置。
技术介绍
在利用硅片切割设备进行硅片加工时，需要事先依次利用黏胶将玻璃和待切割的硅块粘接在晶托上，再对硅块进行定位和切割作业；硅块在切割时，其上下面处的部分材质被切割下而残留在玻璃上，这部分材质称为顶底料，在加工结束后，将晶托、玻璃以及顶底料从机床上取下，放置在化胶槽中的沸水里进行化胶，以便将晶托、玻璃和顶底料分离，实现晶托和顶底料的循环利用。在化胶后，由于化胶槽中水的温度很高，需要使用搬运装置将晶托I从化胶槽中取出，为了方便将晶托I取出，在晶托I的两端分别设置有通孔101，如图I所示。目前，常用的搬运装置为两个弯成90°的钢棍2，如图2所示，在搬运晶托I时，将两个钢棍2从晶托I的一侧分别插在晶托I两端的通孔101中，然后由操作人员双手持钢棍2的上端将晶托I以及附着在晶托I上的玻璃和顶底料从化胶槽中取出。由于在化胶时，晶托I上还粘接有玻璃和顶底料，使得在搬运晶托I时，两个钢棍 2所承受的载荷相对较大，而钢棍2在搬运时只是从晶托I的一侧插入通孔101中，晶托I 两侧的受力并不均匀，晶托I与钢棍2的相对位置关系不固定，很容易导致晶托I在搬运过程中发生幅度相对较大的晃动或滑落的现象，甚至导致安全事故的发生；若晶托I滑落，需要重新搬运晶托1，降低了搬运的效率；此外，若晶托I在搬运时发生大幅度晃动时，附着在晶托I上的玻璃和顶底料两端的受力不均衡，极可能会从晶托上滑脱，需重新搬运，给搬运作业带来较大的难度。因此，如何提高晶托搬运过程中的安全性以及搬运的效率是本领域技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，该晶托搬运装置能够显著提高晶托搬运过程的安全性，并具有较高的搬运效率。为实现上述目的，本技术提供一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。优选地，所述卡杆竖直设置，所述卡头朝向所述卡杆的内侧弯曲90°。优选地，所述卡头为圆管。优选地，所述把手的末端枢接在另一个所述把手上。优选地，两个所述把手上下平行设置。优选地，两个所述卡杆通过销钉枢接。优选地，所述卡具装置为不锈钢卡具装置。优选地，包括两组所述卡具装置，分别设置在所述晶托的两端。在需要将所述晶托从化胶槽中取出时，操作人员操作两个相互枢接的所述卡杆，对所述卡杆一端的所述把手施加外力，通过改变两个所述把手之间的相对位置关系，适当的调节两个所述卡头之间的距离，以使所述卡头能够从所述晶托的两侧插入所述晶托的通孔中，并使所述卡具装置至少安装到所述晶托的两端的通孔处；操作人员再次操作两个所述卡杆，通过调节所述把手之间相对位置关系并对其施加外力，以使所述卡头卡紧在所述晶托的通孔中，保证所述卡头不会从所述通孔中滑脱；平稳的将所述晶托以及附着在所述晶托上的玻璃和顶底料一起从化胶槽中取出；在取出晶托后，将所述晶托、所述玻璃以及所述顶底料分离，并分别清洗后，即可对所述晶托和所述顶底料循环利用。本技术所提供的晶托搬运装置在搬运过程中，从所述晶托的两侧均插入有卡头，在所述晶托的长度和宽度方向均有所述卡具装置进行定位，且所述晶托在其长度方向和宽度方向上的受力都较为均匀，不会发生大幅度的晃动或滑落的现象，也不会对操作人员和所述晶托造成伤害，显著提高了搬运过程中的安全性；此外，经过一次操作即可将所述晶托取出，提高了搬运的效率。附图说明图I为现有技术中晶托的结构示意图；图2为现有技术中搬运装置的结构示意图；图3为本技术所提供的晶托搬运装置的一种具体实施方式的结构示意图。具体实施方式本技术的核心是提供一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，该晶托搬运装置能够显著提高晶托搬运过程的安全性，并具有较高的搬运效率。为了使本
的人员更好地理解本技术方案，以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。请参考图3，图3为本技术所提供的晶托搬运装置的一种具体实施方式的结构示意图。在一种具体实施方式中，本技术所提供的晶托搬运装置包括至少两组卡具装置，该卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，分别称为第一卡杆I和第二卡杆2，卡杆的一端为把手，第一卡杆I上的把手为第一把手11，第二卡杆2上的把手为第二把手21，卡杆的另一端为卡头，同样，第一卡杆I上的卡头为第一卡头12，第二卡杆2上的卡头为第二卡头22 ;在对两个把手施加外力时，可以使第一把手11相对与第二把手21旋转，而两个把手之间的相对转动可以带动两个卡杆的另一端的卡头从待搬运晶托的两侧插入晶托的通孔中或者带动两个卡头从通孔中移出。卡具装置的两个枢接的卡杆的枢接点可以设置在不同的位置，例如，可以将第一把手11的末端枢接到第二把手21上，即枢接点位于第一把手11的末端处，也就是说，第一卡杆I的中上段到枢接点的部分为第一把手11，而第二卡杆2的枢接点以上的部分为第二把手21 ;为了方便操作人员对两个把手施加外力，可以将两个把手上下平行设置，如第一把手11设置在第二把手21的正上方，且两个把手之间的竖直距离应保证操作人员可以一手便握住两个把手，通过相对于第一把手11旋转第二把手21实现对两个卡头动作的控制。此外，两个卡杆的枢接点还可以位于两个卡杆的中上段，这样，两个把手均为各自卡杆的枢接点以上的部分，但是两个把手之间的角度不宜太大，以方便操作人员对把手施力。卡具装置的卡杆可以竖直设置，卡杆上的卡头可以朝向卡杆的内侧弯曲90°，即两个卡头水平设置，且同一个卡具装置上的卡头对称设置，这样可以方便的将第一卡头12 与第二卡头22水平的插入到晶托的通孔中。进一步，卡头可以为圆管，圆管的横截面的尺寸比晶托上的通孔的尺寸要稍小些， 以将卡头插入通孔中。在第一把手11与第二把手21不受外力，处于放松状态时，第一^Nf I与第二卡杆 2之间的距离最好与晶托的宽度大体一致，这样卡具装置能够从晶托的两侧卡紧晶托，晶托的侧面与卡杆紧密贴合，以使在搬运晶托时，晶托与卡具装置之间的相对位置关系固定，晶托不会在卡头的支撑下沿通孔的轴向晃动；当然，第一卡杆I与第二卡杆2之间的距离也可较晶托的宽度稍大些，这样在搬运晶托时，晶托在卡头的支撑下沿通孔的轴向会发生小幅度的晃动，只要这种晃动幅度不会影响晶托的正常搬运，更不会使附着在晶托上的玻璃和顶底料滑脱且晶托也不会从晶托搬运装置上滑落即可；两个卡杆的长度也不能太大，以使操作人员方便的将卡头插入晶托的通孔中并方便的将晶托搬运出化胶槽，而不必大幅度的调节自身所处的位置。卡具装置的两个卡杆之间可以通过销钉进行枢接，也可以采用其他定位装置进行枢接，例如螺栓等。一般而言，在晶托的两端设置有通孔，卡具装置卡在该通孔中将晶托从化胶槽中搬运出，因此，本技术所提供的晶托搬运装置可以包括两个卡具装置，在搬运时分别卡在晶托的两端的通孔处，这样，晶托在通孔的定位作用下，不会沿晶托的长度方向发生位置偏移，且晶托两端的受力较为均匀，防止晶托在搬运时发生倾斜。需要指出的是，如果在晶托上设置有多个相同的通孔，如在晶托本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，其特征在于，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏兰虎，杨风桐，
申请(专利权)人：天津英利新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：