【技术实现步骤摘要】
本技术涉及用于固体材料特别是晶体材料的改进的超声波多线切割方法及实施该方法的专用设备。
技术介绍
现有的专用于固体材料、例如但不限于包括硅、碳化硅、氧化铝、钻石等硬脆晶体材料的线切割及多线切割的方法，通常包括步骤使用单根或多根切割线通过布线系统排列成包含有至少2条切割线的切割线网，使切割线做切割运动的同时，使待切割固体材料与切割侧切割线网接触，通过切割线本身的切割作用，或由切割线携带的切割或研磨砂浆的切割作用，实现待切割固体材料的切割，包括例如晶体锭的剖方，或切片，等等。其中，切割线的切割运动包括例如单向运动、双向往复运动、旋转运动、振动及其复合运动等等。使用现有的线切割方法切割硬脆材料时，通常切割效率较低、切割精度不高，成本高，并且切割终了时被切割材料易产生出线边缘崩边等损伤。为此，中国专利说明书ZL03133682. 5介绍了采用超声波振动装置的超声波线切割锯，利用超声能量辅助金刚石线锯切割，实现了高效率、高精度、低成本的线锯方法。但是，这种线锯需要把超声波变幅杆与金刚石线的一端固定连接，只能适用于往复走线的短线锯切割，无法用于单向走线切割，更无法实现连续双...
【技术保护点】
改进的超声波多线切割专用设备，包含有切割线网的装载及切割线运动驱动系统、待切割物体的装载系统，以及使切割线网和待切割物体进行相向移动的移动系统，其特征是，还包含有至少一个超声波发生装置及其超声发射表面，其中，所述的超声发射表面设置在其工作时可安装在待切割物体的至少部分表面上的位置；和任选的装载固定于装载系统的待切割物体。
【技术特征摘要】
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