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本实用新型公开了一种用于硅片加工设备的晶托搬运装置，包括至少两组卡具装置，所述卡具装置包括两个相互枢接的卡杆，所述卡杆的一端为把手，另一端为卡头，所述把手的转动带动两个所述卡头从所述晶托的两侧卡在所述晶托的通孔中。对待搬运的晶托进行搬运作业...
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