【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种籽晶伺服机构。
技术介绍
随着国内LED行业的逐渐发展，对蓝宝石衬底片的加工技术的要求越来越高，目前国内大多数采用KY晶体生长工艺，此种工艺是目前最易产业化生产，晶体质量最高的一种工艺。而这种技术的关键点在于引晶，引晶的质量好坏直接决定着晶体的质量。在引晶过程中，籽晶的伺服机构决定着操作者引晶的培训周期，引晶质量的稳定，以及可重复性。传统的泡生法KY技术其籽晶伺服机构粗糙，基本上都是手动操作，称重系统不够精密，并且不够稳定，其工艺掌握的程度很大程度上依赖于操作者的实践经验，并且自动化程度较低，操作者劳动强度较大，晶体质量极不稳定。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构，解决引晶的稳定性问题。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构，包括升降机构伺服电机，升降导轨，旋转机构伺服电机，籽晶夹持机构和称重系统，其特征在于，所述升降机构伺服电机采用变频电机，转速从0-30000rpm无级可调，所述升降导轨为丝杠结构，通过螺杆和螺母带...
【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构，包括升降机构伺服电机，升降导轨，旋转机构伺服电机，籽晶夹持机构和称重系统，其特征在于，所述升降机构伺服电机采用变频电机，转速从0?30000rpm无级可调，所述升降导轨为丝杠结构，通过螺杆和螺母带动升降系统其它部件运动，升降速率0?7000mm/h无级可调，所述旋转机构伺服电机采用变频电机，转速从0?100rpm无级可调，所述籽晶夹持机构以钼为材质，使用锻造钼棒加工而成，纯度99.95％，是夹持籽晶的机构，所述称重系统为一圆环形压力传感器，传感器分辨率为0.01g，量程为0至200kg。
【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构，包括升降机构伺服电机，升降导轨，旋转机构伺服电机，籽晶夹持机构和称重系统，其特征在于，所述升降机构伺服电机采用变频电机，转速从0-30000rpm无级可调，所述升降导轨为丝杠结构，通过螺杆和螺母带动升降系统其它部件运动，升降速率0-7000mm/h无级可调，所述旋转机构伺服电机采用变频电机，转速从...
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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