下载一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构的技术资料

文档序号:8449702

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本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶伺服机构,包括升降机构伺服电机,升降导轨,旋转机构伺服电机,籽晶夹持机构和称重系统,大大提高了自动化程度,降低了人员劳动强度,可以很好的解决引晶的稳定性问题,对于工艺培训和保证晶体质量的稳定性非常有利...
该专利属于苏州工业园区杰士通真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州工业园区杰士通真空技术有限公司授权不得商用。

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