蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置制造方法及图纸

技术编号:8430001 阅读:201 留言:0更新日期:2013-03-16 18:03
一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,该冷却装置的结构包括圆形真空通道,及真空通道外壳和第一真空通道,第一真空通道再与第二真空通道连接,在第一真空通道中间设有进水和出水的盘形通水铜管,通水铜管上设有多组铜片。本实用新型专利技术结构简单、易于制造、铜片的大小根据通道的大小进行调整,解决了蓝宝石单晶炉设备中真空系统的温升问题。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于机电一体化蓝宝石单晶炉设备,尤其是属于蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置
技术介绍
蓝宝石单晶炉是生产新型LED基底材料蓝宝石长晶的装备,蓝宝石长晶是在真空环境中获得,在真空通道中,随着生产环境中温度的提高,会产生压力过高,对生产会产生不利的因素,经过反复试验,特设计了本技术的冷却装置,解决了上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,该冷却装置的结构包括圆形真空通道及真空通道外壳和第一真空通道,第一真空通道再与第二真空通道连接,在第一个真空通道中设有进水和出水的盘形状通水铜管,通水铜管上设有多组铜片,铜片排列连接在通水铜管上与抽真空流向的左下方和右下方呈45°角,使铜片将抽真空的第一真空通道的迎风面挡住,抽出的空气从铜片的下端排出到第二真空通道,把所带的热量通过铜片传给通水铜管,通过铜管中流动的水把热量带出设备之外,达到对设备冷却的目的,铜片的大小根据通道的大小进行调整,把通道的进气全部改变流向,从而把热量传递在铜片上,转而通过铜片管里的流动水或其他传热介质把热量传出设备以夕卜,起到冷却效果。采用本技术方案的有益效果结构简单、易于制造、铜片的大小根据通道的大小进行调整,解决了蓝宝石单晶炉设备中真空系统的温升问题。附图说明图I为蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置结构图。图2为图I的正剖视结构图。图中1-通水铜管、2-铜片、3-第一真空通道、4-第二真空通道、5-真空通道外壳。具体实施方式本技术所述的蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,具体实施方式对照附图叙述如下该冷却装置的结构包括圆形真空通道及第一真空通道外壳5和第一真空通道3,第一真空通道3再与第二真空通道4连接,在第一个真空通道3中间设有进水和出水的盘形状通水铜管1,通水铜管I上设有多组铜片2,铜片2排列在通水铜管I上的角度为45°角,该角度是铜片2与通水铜管I连接处左下角和右上角的角度,使铜片2将抽真空的第一真空通道3迎风面被铜片2挡住,抽出的空气从铜片2的下端排出到第二真空通道4,把所带热量通过铜片2传给通水钢管1,通过铜管I中流动的水把热量带出设备之外,达到对设备 的冷却。权利要求1.一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于该冷却装置的结构包括圆形真空通道,第一真空通道外壳(5)和第一真空通道(3),第一真空通道(3)再与第二真空通道(4)连接,在第一真空通道(3)中间设有进水和出水的盘形通水铜管(1),通水铜管(I)上设有多组铜片(2)。2.根据权利要求I所述的蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于所述的多组铜片(2)排列在通水铜管(I)的角度为45°。3.根据权利要求I所述的蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于所述的角度45°,是铜片(2)与通水铜管(I)连接处左下角和右上角的角度。专利摘要一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,该冷却装置的结构包括圆形真空通道,及真空通道外壳和第一真空通道,第一真空通道再与第二真空通道连接,在第一真空通道中间设有进水和出水的盘形通水铜管,通水铜管上设有多组铜片。本技术结构简单、易于制造、铜片的大小根据通道的大小进行调整,解决了蓝宝石单晶炉设备中真空系统的温升问题。文档编号F27D9/00GK202786512SQ20122042993公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月28日 优先权日2012年8月28日专利技术者方启彬, 马剑钧, 康宁 申请人:贵州建新南海科技股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于:该冷却装置的结构包括圆形真空通道,第一真空通道外壳(5)和第一真空通道(3),第一真空通道(3)再与第二真空通道(4)连接,在第一真空通道(3)中间设有进水和出水的盘形通水铜管(1),通水铜管(1)上设有多组铜片(2)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:方启彬马剑钧康宁
申请(专利权)人:贵州建新南海科技股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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