【技术实现步骤摘要】
本技术属于机电一体化蓝宝石单晶炉设备,尤其是属于蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置。
技术介绍
蓝宝石单晶炉是生产新型LED基底材料蓝宝石长晶的装备,蓝宝石长晶是在真空环境中获得,在真空通道中,随着生产环境中温度的提高,会产生压力过高,对生产会产生不利的因素,经过反复试验,特设计了本技术的冷却装置,解决了上述存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,该冷却装置的结构包括圆形真空通道及真空通道外壳和第一真空通道,第一真空通道再与第二真空通道连接,在第一个真空通道中设有进水和出水的盘形状通水铜管,通水铜管上设有多组铜片,铜片排列连接在通水铜管上与抽真空流向的左下方和右下方呈45°角,使铜片将抽真空的第一真空通道的迎风面挡住,抽出的空气从铜片的下端排出到第二真空通道,把所带的热量通过铜片传给通水铜管,通过铜管中流动的水把热量带出设备之外,达到对设备冷却的目的,铜片的大小根据通道的大小进行调整,把通道的进气全部改变流向,从而把热量传递在铜片上,转而通过铜片管里的流动水或其他传热介质把热量传出设备以夕卜,起到冷却效果。采用本技术方案的有益效果结构简单、易于制造、铜片的大小根据通道的大小进行调整,解决了蓝宝石单晶炉设备中真空系统的温升问题。附图说明图I为蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置结构图。图2为图I的正剖视结构图。图中1-通水铜管、2-铜片、3-第一真空通道、4-第二真空通道、5-真空通道外壳。具体实施方式本技术所述的蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,具体实施方式对照附图叙述如下该冷却装置的结构包括圆形真 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置,其特征在于:该冷却装置的结构包括圆形真空通道,第一真空通道外壳(5)和第一真空通道(3),第一真空通道(3)再与第二真空通道(4)连接,在第一真空通道(3)中间设有进水和出水的盘形通水铜管(1),通水铜管(1)上设有多组铜片(2)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方启彬,马剑钧,康宁,
申请(专利权)人:贵州建新南海科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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