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一种蓝宝石单晶炉设备中真空系统的冷却装置，该冷却装置的结构包括圆形真空通道，及真空通道外壳和第一真空通道，第一真空通道再与第二真空通道连接，在第一真空通道中间设有进水和出水的盘形通水铜管，通水铜管上设有多组铜片。本实用新型结构简单、易于制造...
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