【技术实现步骤摘要】
本技术属于机电一体化技术，尤其属于蓝宝石单晶炉长晶设备中真空系统柔性连接装置。
技术介绍
蓝宝石单晶炉是新型LED基底材料蓝宝石长晶高端装备，蓝宝石长晶是在真空环境中获得，在由各种真空元器件组成的真空通道中，有一些刚性元器件与另外一些刚性元器件之间由于各自尺寸不同，所以很难在安装尺寸上保持一致，为了解决这一相互连接，在两个刚元器件之间设置一个柔性连接件把两个通道连接起来。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，它的结构组成包括两端需要连接的第一真空通道装置和第二真空通道装置之间由柔性连接件通过两端的外接法兰与两个刚性通道装置实现连接，柔性连接件由不锈钢波纹管和两端外接法兰组成柔性连接件。采用本技术方案的有益效果可很好解决两端刚性元器件不同尺寸和位置的连接，结构简单，易于制造安装，用于各种型号的蓝宝石单晶炉真空系统中。附图说明图I为本技术的蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置的示意图。图中1-第一真空通道装置、2-柔性连接件、3-第二真空通道装置。具体实施方式本技术所述的蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，现对照附图加以说明该结构组成包括两...
【技术保护点】
一种蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，其特征在于：该结构组成包括：两端需要连接的第一真空通道装置（1）和第二真空通道装置（3）之间，由柔性连接件（2）通过两端的外接法兰与两个刚性真空通道装置实现连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：方启彬，马剑钧，康宁，
申请(专利权)人：贵州建新南海科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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