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一种蓝宝石设备中真空系统柔性连接装置，该结构组成包括：两端需要连接的第一真空通道装置和第二真空通道装置之间，由柔性连接件通过两端的外接法兰与两个刚性真空通道装置实现连接。本实用新型可很好解决两端刚性元器件不同尺寸和位置的连接，结构简单，易于...
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