【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种单晶生长炉压力释放装置。
技术介绍
蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。蓝宝石单晶生长炉属于高真空密封装置，对真空泄漏率的要求很高。由于其工作状态的特殊性，当炉内出现意外情况，例如漏水、误操作等，炉内气压瞬间成万倍数量级增长，严重时甚至会造成单晶炉体爆炸，危及生命财产安全。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种炉内压力稳定，从而防止因炉内压力过高而导致的不正常循环和爆炸等不稳定状态的单晶生长炉压力释放装置。本专利技术单晶生长炉压力释放装置，包括密封底座；真空管道，所述真空管道设置在所述密封底座上；复位装置，所述复位装置与所述密封底座垂直连接。所述复位装置包括导杆，所述导杆的一端设有支撑块，所述导杆的另一端与所述密封底座连接，在所述导杆与所述密封底座的连接端的外侧设有外螺纹；复位弹簧，所述复位弹簧套设在所述导杆外侧。所述密封底座...
【技术保护点】
单晶生长炉压力释放装置，其特征在于，包括：密封底座；真空管道，所述真空管道设置在所述密封底座上；复位装置，所述复位装置与所述密封底座垂直连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕立强，
申请(专利权)人：上海朗兆机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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