下载单晶生长炉压力释放装置的技术资料

文档序号:8384476

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本发明提供了一种单晶生长炉压力释放装置,包括:密封底座;真空管道,所述真空管道设置在所述密封底座上;复位装置,所述复位装置与所述密封底座垂直连接。本发明单晶生长炉压力释放装置通过自动调节,使炉内压力稳定,从而防止因炉内压力过高而导致的不正常...
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