【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石晶体生长炉的加工制造，尤其是一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室。
技术介绍
目前蓝宝石晶体生长炉多采用俄罗斯技术，俄罗斯技术的缺陷在于使用压电传感器，靠籽晶杆对传感器产生剪切力来产生重量的电信号，其晶体生长炉波纹管置于称重传感器下端，在晶体升降和旋转的过程中，波纹管的移动会产生不稳定信号，给称重值造成很大的干扰。对于初学操作者来说，对于晶体生长的判断比较困难，同时对晶体的生长也不 利。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，用于提高重量测量的精度。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。上述一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，其特征在于，所述支撑盘与...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：吴江亿泰真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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