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本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。...
该专利属于吴江亿泰真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江亿泰真空设备科技有限公司授权不得商用。

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