【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计,尤其是一种坩埚装料系统。
技术介绍
目前国内多数蓝宝石晶体生长炉采用上装料的方式,此装料方式需使用吊车将坩埚吊入晶体生长炉里面,然后用人工移动的方式来使坩埚置于晶体生长炉热场中心位置, 采用此种吊装方式,因晶体生长炉的发热体距坩埚的距离较近,操作人员劳动强度大,吊装位置不精准,极易造成晶体生长炉的损坏。为了克服上述缺点,有些厂家如美国TT公司采用下装料的方式进行蓝宝石晶体生长炉的设计,使用这种装料方式,操作人员需推动坩埚车将坩埚送入晶体生长炉下部,然后不断的移动坩埚车来调整坩埚的位置,以使坩埚处于热场的中心位置,其坩埚车极为笨重,坩埚在车上不易移动,使得操作人员劳动强度较大, 并且极易损坏发热体,隔热屏等部件。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,解决晶体省生长炉系统易损坏的问题。为解决上述技术问题,本专利技术的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机 ...
【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机和载物台升降变频电机,其特征在于,所述坩埚装料系统使用变频电机控制叉车主体带动载物台和坩埚的前后行进,手动控制叉车转向。
【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉坩埚装料系统,为一种坩埚车,包括叉车行进变频电机,叉车主体,叉车载物台,载物台坩埚承载爪,载物台移动导轨,载物台左右移动变频电机和载物台升降变频电机,其特征在于,所述坩埚装料系统使用变频电机控制叉车主体带动载物台和坩埚的前后行进,手动控制叉车转向。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:滑喜宝,
申请(专利权)人:苏州工业园区杰士通真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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