蓝宝石炉籽晶旋转称重机构制造技术

技术编号:8430003 阅读:181 留言:0更新日期:2013-03-16 18:03
本实用新型专利技术涉及蓝宝石炉领域,尤其涉及一种籽晶旋转称重机构。一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,包括籽晶杆、推力球轴承、法兰、称重传感器、磁流体密封件和支撑套,所述籽晶杆穿过法兰的中心,籽晶杆与法兰之间通过推力球轴承相连;所述磁流体密封件套住在籽晶杆外,籽晶杆与磁流体密封件之间通过轴抱紧块联动,使籽晶杆与磁流体密封件之间只具有轴向滑动自由度;所述称重传感器顶部与法兰的底面固定相连,称重传感器的底部固定在磁流体密封件的顶面上,所述支撑套固定套装在磁流体密封件外。本实用新型专利技术称重籽晶杆上需要测量的压力大小通过三个称重传感器压力总合来实现,结构简单,稳定性和精度可靠性高。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及 蓝宝石炉领域,尤其涉及一种籽晶旋转称重机构。
技术介绍
蓝宝石炉是专为生长光学晶体蓝宝石而设计的生长炉,该系统使用重量法控制晶体的生长直径,其技术规格满足大部分使用微提拉法生长的蓝宝石晶体,籽晶杆的旋转称重系统直接影响了晶体的直径和形状大小。原有的称重系统是通过机械的杠杆原理来实现称重的,零件复杂,易受干扰且精度不高,对称重系统的影响较大。如何保证旋转机构旋转时对称重传感器不会产生较大的冲击力,解决系统准确性差、灵敏度不高、可靠性不良等缺陷,对于晶体生长控制有着极其重要的作用。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,通过轴抱紧块联动同步旋转籽晶杆和磁流体密封件,由推力球轴承保持称重传感器在旋转系统中的稳定性,结构简单,稳定性和精度可靠性高。本技术是这样实现的一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,包括籽晶杆、推力球轴承、法兰、称重传感器、磁流体密封件和支撑套,所述籽晶杆穿过法兰的中心,籽晶杆与法兰之间通过推力球轴承相连;所述磁流体密封件套住在籽晶杆外,籽晶杆与磁流体密封件之间通过轴抱紧块联动,使籽晶杆与磁流体密封件之间只具有轴向滑动自由度;所述称重传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石炉籽晶旋转称重机构,其特征是:包括籽晶杆(1)、推力球轴承(2)、法兰(4)、称重传感器(5)、磁流体密封件(8)和支撑套(9),所述籽晶杆(1)穿过法兰(4)的中心,籽晶杆(1)与法兰(4)之间通过推力球轴承(2)相连;所述磁流体密封件(8)套住在籽晶杆(1)外,籽晶杆(1)与磁流体密封件(8)之间通过轴抱紧块(6)联动,使籽晶杆(1)与磁流体密封件(8)之间只具有轴向滑动自由度;所述称重传感器(5)顶部与法兰(4)的底面固定相连,称重传感器(5)的底部固定在磁流体密封件(8)的顶面上,所述支撑套(9)固定套装在磁流体密封件(8)外。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:连吉周凯平
申请(专利权)人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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