【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种陶瓷杆,特别涉及一种石墨舟陶瓷杆。
技术介绍
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片,然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片,石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的。石墨舟在使用一定次数后,石墨舟上各部分表面上会被镀上一层氮化硅,此时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟,再用清水清洗,现有石墨舟陶瓷杆上没有排水的通道,使得氢氟酸不能有效排除,残留的氢氟酸加速了陶瓷杆的腐蚀速度,陶瓷杆易断,工业生产中需经常更换陶瓷杆。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足,提供一种具有导流槽,能有效排除氢氟酸的陶瓷杆。实现本技术目的技术方案是一种石墨舟陶瓷杆,包括两个端部的螺纹段,中间的光杆其特征在于光杆上开设有导流槽。上述石墨舟陶瓷杆,所述导流槽为沿轴向水平开设。上所述石墨舟陶瓷杆,所述导流槽为沿轴向与水平成角度开设。上述石墨舟陶瓷杆,所述导流槽为沿轴向与水平成5°角开设。本技术具有积极的效果(1)结构简单,实用;(2)开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去,能有效延长陶瓷杆的使 ...
【技术保护点】
一种石墨舟陶瓷杆,包括两个端部的螺纹段(1),中部的光杆(2)其特征在于:光杆(2)上开设有导流槽(3)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建洪,
申请(专利权)人:常州市立新石墨有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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