石墨舟陶瓷杆制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石墨舟陶瓷杆，包括两个端部的螺纹段，中部的光杆，光杆上开设有导流槽，本实用新型专利技术结构简单，实用；开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷杆的使用寿命。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种陶瓷杆，特别涉及一种石墨舟陶瓷杆。
技术介绍
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的。石墨舟在使用一定次数后，石墨舟上各部分表面上会被镀上一层氮化硅，此时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟，再用清水清洗，现有石墨舟陶瓷杆上没有排水的通道，使得氢氟酸不能有效排除，残留的氢氟酸加速了陶瓷杆的腐蚀速度，陶瓷杆易断，工业生产中需经常更换陶瓷杆。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足，提供一种具有导流槽，能有效排除氢本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟陶瓷杆，包括两个端部的螺纹段（1），中部的光杆（2）其特征在于：光杆（2）上开设有导流槽（3）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建洪，
申请(专利权)人：常州市立新石墨有限公司，
类型：实用新型
国别省市：