密闭式集尘吹气机制造技术

一种密闭式集尘吹气机，用以去除一待处理物上的微尘；该密闭式集尘吹气机包含有一机台、一置具、至少一离子风扇、一风力装置、以及一集尘装置；其中，该置具设于该机台上，用以供该待处理物置放，且该置具可相对该机台呈一角度倾斜；该离子风扇设于该机台上，且位于该置具上方，用以产生一定数量的离子于该机台中；该风力装置设于该机台上，且位于该置具上方，用以往该置具的方向产生风压，并可相对该置具移动；该集尘装置设于该机台上，且位于该置具的下方，用以往该置具的方向抽气。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术系与制品去尘有关，更详而言之是指一种密闭式集尘吹气机。
技术介绍
随着科技产业的进步，如半导体、光电、医药、食品等精密工业中亦日渐发达。而上述工业产品的质量、可靠性以及良率高低与制造环境与制造过程的洁净程度有着极大的关系。 对于微尘颗粒有极为严格要求的晶圆厂洁净室，经常利用人工进行高压空气吹除或以真空吸取方式，去除附着于对象表面的微尘，不仅清洁无法达到最佳的效果，且吹气产生的扰流亦会引起微尘颗粒飞溅四射于洁净室内，进而造成洁净室污染，降低洁净室的等级。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种密闭式集尘吹气机，具有良好的去尘效果，而可大幅地减少微尘附着于待处理物上的情形。缘以达成上述目的，本技术所提供的一种密闭式集尘吹气机，用以去除一待处理物上的微尘；该密闭式集尘吹气机包含有一机台；—置具，设于该机台上，该待处理物置放于其上，且该置具相对该机台呈一角度倾斜；至少一离子风扇，设于该机台上，且位于该置具上方；一风力装置，设于该机台上，且位于该置具上方，相对该置具移动；以及一集尘装置，设于该机台上，且位于该置具的下方。依据上述构思，该置具包含有一枢轴以及一承架；该枢轴与该机台连接；该承架用以供该待处理物置放，且该承架一侧与该枢轴连接，而可相对该枢轴枢摆，使该承架往一方向倾斜。依据上述构思，该置具包含有一枢轴以及一承架；该枢轴与该机台连接；该承架用以供该待处理物置放，且该承架中央与该枢轴连接，而可相对该枢轴枢摆，使该承架往相反的两方向倾斜。依据上述构思，该风力装置的移动方向平行于该枢轴。依据上述构思，该风力装置用以往该置具的方向吹出垂直于该枢轴的片状风压。依据上述构思，该机台具有一去尘室；该置具、该离子风扇与该风力装置设于该去尘室中；该集尘装置设于该去尘室下方，用以抽离该去尘室中的空气。依据上述构思，该风力装置的两侧分别具有至少一入风口，且底部具有一呈细长状的出风口 ；加压后的空气由所述入风口输入后，由该出风口吹出。本技术的有益效果是通过上述设计，该密闭式集尘吹气机将可具有良好的去尘效果。附图说明为能更清楚地说明本技术，以下列举较佳 实施例并配合附图详细说明如后，其中图I为本技术第一较佳实施例的外观图；图2为本技术第一较佳实施例的透视图；图3为本技术第一较佳实施例的侧视图；图4为本技术第一较佳实施例的正视图；图5为本技术风力装置的立体图；图6为本技术第二较佳实施例的侧视图。具体实施方式请参阅图I及图2，本技术第一较佳实施例的密闭式集尘吹气机包含有一机体10、一置具20、一风力装置30、两台离子风扇40、以及一集尘装置50。其中该机体10具有一去尘室12以及一容置空间14，且该去尘室12位于该容置空间14上方。该置具20设于该去尘室12中，且包含有一枢轴22以及一承架24。该枢轴22与该机台10连接。该承架24用以供一待处理物(如晶圆、面板、电路板等)100置放。请参阅图3，该承架24 —侧与该枢轴22连接，而可相对该枢轴22枢摆，使该承架24往一方向相对该机体10于一角度内倾斜。于本实施例中，该承架24最大倾角可达25度。使用者可依其使用需求，使该承架24于0-25度的范围内倾斜。该风力装置30设于该去尘室12中，且位于该置具20上方。请参阅图4，该风力装置30可相对该置具20移动，且其移动方向平行于该置具20的枢轴22。续参阅图5，该风力装置30的两侧分别具有多个入风口 32，用以供加压后的空气输入。而自所述入风口 32输入的空气，将从下方呈细长状的出风口 34输出，以往该置具20的方向吹出垂直于该枢轴22的片状风压。所述离子风扇40设于该去尘室12中，且位于该风力装置30的两侧，而位于该置具20上方。所述离子风扇40用以产生一定数量的离子布满该去尘室12。该集尘装置50设于该去尘室12下方的容置空间14中，用以往该置具20的方向抽气，以将该去尘室12中的空气抽离。由此，通过上述设计，当使用者欲去除该待处理物100上的微尘时，则先将该待处理物100置放于该去尘室12中的该承架24上后，将该承架24倾斜。之后，封闭该去尘室12，并启动所述离子风扇40与该集尘装置50。以通过所述离子风扇40产生的离子，中和微尘上的静电，使微尘不再吸附于该待处理物100上，再通过所述离子风扇40吹出的微风量，将较为细小的微尘吹离该待处理物100的表面，并通过集尘装置50抽离吹离的微尘。而后,启动该风力装置30，并使该风力装置30相对该置具20移动。以通过该风力装置30所产生呈片状的强力风压，一边移动一边将该待处理物100上的微尘依序吹离，并通过该集尘装置50迅速地抽离所吹起的微尘，以有效地除去该待处理物100上的微尘。另外，除上述结构设计外，请参阅图6，为本技术第二实施例的密闭式集尘吹气机，与前一实施例不同的处在于其置具60的承架64是于其中央处与枢轴62连接，且同样可相对该枢轴62枢摆。由此，通过上述的设计，便可使该承架64往相反的两方向倾斜，而使得置放于该承架64上的待处理物100于不同方向受到吹拂，进而提升该密闭式集尘吹气机的去尘效果。值得一提的是，上述承架24、64倾斜的设计，可使吹风装置30与离子风扇40吹出的风有效地作用于该待处理物100上，进而加强去尘的效果，以大幅地减少微尘附着于该待处理物100上的情形。另外，通过该去尘室12的设计，吹气产生的扰流引起微尘颗粒飞溅，便不会四射于工作区域内，而不会造成工作区域污染。以上所述仅为本技术较佳可行实施例而已，凡是应用本技术说明书及申 请专利范围所为的等效结构变化，理应包含在本技术的权利要求范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密闭式集尘吹气机，用以去除一待处理物上的微尘；其特征在于，该密闭式集尘吹气机包含有：一机台；一置具，设于该机台上，该待处理物置放于其上，且该置具相对该机台呈一角度倾斜；至少一离子风扇，设于该机台上，且位于该置具上方；一风力装置，设于该机台上，且位于该置具上方，相对该置具移动；以及一集尘装置，设于该机台上，且位于该置具的下方。

【技术特征摘要】
1.一种密闭式集尘吹气机，用以去除一待处理物上的微尘；其特征在于，该密闭式集尘吹气机包含有 一机台； 一置具，设于该机台上，该待处理物置放于其上，且该置具相对该机台呈一角度倾斜； 至少一离子风扇，设于该机台上，且位于该置具上方； 一风力装置，设于该机台上，且位于该置具上方，相对该置具移动；以及 一集尘装置，设于该机台上，且位于该置具的下方。2.如权利要求I所述的密闭式集尘吹气机，其特征在于，其中，该置具包含有一枢轴以及一承架；该枢轴与该机台连接；该承架供该待处理物置放，且该承架一侧与该枢轴连接，而可相对该枢轴枢摆，使该承架往一方向于该角度内倾斜。3.如权利要求I所述的密闭式集尘吹气机，其特征在于，其中，该置具包...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖振元，
申请(专利权)人：赖振元，
类型：实用新型
国别省市：