【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气动测微计(air micrometer)的测量头及其制造方法。
技术介绍
对于施加了高精度的精加工的工件，要求对其尺寸进行精密地测量，由此，应用将空气(air)作为测量介质对工件的尺寸进行测量的气动测微计。例如，对工件的内径进行测量的内径测量用的气动测微计具备测量头，该测量头具有插入到形成于被测量物的孔(被测量孔)中的测量元件，并构成为从在该测量元件的外周面形成的喷嘴口向被测量孔的内周面吹风，并根据与喷嘴口和被测量孔的内周面之间的间隙对应的空气的流量变化或者背压变化测量孔的内径、圆度等。 另外，在下述专利文献I中公开有能够在被测量孔中的轴向的多个部位同时进行内径的测量的气动测微计。图14中表示了示意性地表示专利文献I的气动测微计的说明图。该气动测微计的测量头具备测量元件117，该测量元件117被插入被测量孔，在该测量元件117的内部形成有多个沿着轴向延伸的纵向通道TfT3和多个沿着径向延伸的横向通道YfY3。多个纵向通道Tf T3绕测量元件117的轴心O在周向上隔开相等间隔地排列。多个横向通道YfY3在轴向上互不相同的位置A C形成于通过测量元件...
【技术保护点】
一种气动测微计的测量头，其中，测量元件插入被测量孔，在该测量元件的内部形成有：多个纵向通道，这些纵向通道沿着轴向延伸；多个横向通道，这些横向通道在所述测量元件的轴向的多个位置沿着径向延伸并与所述各纵向通道连通，并且在所述测量元件的外表面开口，其特征在于，所述测量元件由呈同心状配置并且沿径向重合的多个管构成，所述纵向通道形成于径向的最内侧的管的中心、以及相互重合的管之间。
【技术特征摘要】
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