【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于测量技术,涉及一种厚度测量系统,特别是一种应用于金属材料或非金属材料厚度测量的脉冲激光体纵波测量系统。
技术介绍
超声波法测量材料或构件厚度的方法是从20世纪40年代开始发展的。通过材料超声脉冲在材料中的传播时间,与材料中的声速相乘,即可以测量出材料的厚度。传统的超声波法采用压电换能器作为超声的激发和接收装置,这种方法激发出的超声波频率较低,因此声脉冲较长,因此测量精度较低,而且压电换能器必须通过耦合剂紧贴在的材料表面上,无法实现非接触测量及快速扫描。90年代以来,随着激光超声理论及技术的发展, 采用短脉冲激光作为超声波的激发源,并采用光学干涉仪接收的厚度测量系统也随之出现(CN1357100、CN1363820)。这种测厚系统采用短脉冲激光激发声脉冲,光学干涉仪测量反射声脉冲的位移信号,从而得到材料的厚度。但该类系统利用的是反射声脉冲,当样品较薄时,反射声脉冲与入射声脉冲会发生叠加,大大降低测量精度,当样品较厚或者材料衰减较大时,反射声脉冲能量很小而很难被检测到,也限制该方法的应用范围。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种精度高、测量速度快、 ...
【技术保护点】
脉冲激光体纵波厚度测量系统,其特征是,厚度测量系统包括脉冲激光器(1)、激光干涉仪(6)、分光镜(2)、凸透镜(3)、光电二极管(8)以及电子计算机(7),分光镜(2)和凸透镜(3)依次设置在同一光路上,光电二极管(8)位于分光镜的反射光路上接收分光镜(2)的反射光,光电二极管8输出的电信号与电子计算机(7)上的信号采集卡的一个接收端相连,电子计算机(7)上的信号采集卡的另一接收端与激光干涉仪(6)输出端相连,脉冲激光器(1)和激光干涉仪(6)对心放置在被测样品(4)两侧,被测样品(4)放置在二维平移台(5)上,脉冲激光器(1)发出的激光通过凸透镜(3)聚焦,在被测样品(4 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:石一飞,张鹭,李旭东,蔡良续,
申请(专利权)人:中国航空综合技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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