等离子显示面板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种等离子显示面板及其制造方法。等离子显示面板的制造方法包括：通过在前面基板的中央分为第1电极区域与第2电极区域这两个区域进行分割曝光来形成总线电极；通过在背面基板的中央分为第1隔壁区域与第2隔壁区域这两个区域进行分割曝光来形成隔壁；在第1电极区域与第2电极区域的边界附近求取第1电极区域的开口率及第2电极区域的开口率；在第1隔壁区域与第2隔壁区域的边界附近求取第1隔壁区域的开口率及第2隔壁区域的开口率；求取从第1电极区域的开口率与第1隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第1差分值；以及根据各差分值的绝对值来对置配置电极区域与隔壁区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
在此公开的技术涉及显示设备等所利用的。
技术介绍
公知在制造等离子显示面板(以下、称为rop)之际会利用光刻法。再有，在基板尺寸较大的情况下，利用的是将曝光区域分为多个区域后进行曝光的分割曝光法(例如参照专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献IJP特开2007-200879号公报
技术实现思路
PDP的制造方法包括通过将被设于前面基板上的包含感光性成分的电极膏剂层在前面基板的中央分为第I电极区域与第2电极区域这两个区域进行分割曝光，从而形成总线电极；通过将被设于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏剂层在背面基板的中央分为第I隔壁区域与第2隔壁区域这两个区域进行分割曝光，从而形成隔壁；在第I电极区域与第2电极区域的边界附近求取第I电极区域的开口率及第2电极区域的开口率；在第I隔壁区域与第2隔壁区域的边界附近求取第I隔壁区域的开口率及第2隔壁区域的开口率；在配置为第I电极区域与第I隔壁区域对置的情况下，求取从第I电极区域的开口率与第I隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第I差分值；在配置为第I电极区域与第2隔壁区域对置的情况下，求取从第I电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第I隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第2差分值；以及在第I差分值的绝对值小于第2差分值绝对值的情况下，配置为第I电极区域与第I隔壁区域对置，而在第I差分值的绝对值大于第2差分值的绝对值的情况下，配置为第I电极区域与第2隔壁区域对置。PDP是通过制造方法而制造出的，该制造方法包括通过将被设于前面基板上的包含感光性成分的电极膏剂层在前面基板的中央分为第I电极区域与第2电极区域这两个区域进行分割曝光，从而形成总线电极；通过将被设于背面基板上的包含感光性成分的隔壁膏剂层在背面基板的中央分为第I隔壁区域与第2隔壁区域这两个区域进行分割曝光，从而形成隔壁；在第I电极区域与第2电极区域的边界附近求取第I电极区域的开口率及第2电极区域的开口率；在第I隔壁区域与第2隔壁区域的边界附近求取第I隔壁区域的开口率及第2隔壁区域的开口率；在配置为第I电极区域与第I隔壁区域对置的情况下，求取从第I电极区域的开口率与第I隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第I差分值；在配置为第I电极区域与第2隔壁区域对置的情况下，求取从第I电极区域的开口率与第2隔壁区域的开口率相乘而得到的值减去第2电极区域的开口率与第I隔壁区域的开口率相乘而得到的值后得到的第2差分值；以及在第I差分值的绝对值小于第2差分值绝对值的情况下，配置为第I电极区域与第I隔壁区域对置，而在第I差分值的绝对值大于第2差分值的绝对值的情况下，配置为第I电极区域与第2隔壁区域对置。附图说明图I是表示PDP的示意结构的立体图。图2是表示I3DP的放电单元结构的示意图。图3是表示在本实施方式涉及的分割曝光中对基板的左区域进行曝光的状态的图。图4是图3中的4-4线剖视图。·图5是表示在本实施方式涉及的分割曝光中对基板的右区域进行曝光的状态的图。图6是图5中的6-6线剖视图。图7是表示本实施方式涉及的I3DP的制造流程的一部分的图。图8是从形成有总线电极的一侧观察本实施方式涉及的前面基板的图。图9是从形成有纵隔壁的一侧观察本实施方式涉及的背面基板的图。图10是表示配置为前面基板的区域A和背面基板的区域A对置的状态的图。图11是将图10中的衔接部附近放大之后的图。图12是表示配置为前面基板的区域A与背面基板的区域B对置的状态的图。图13是将图12中的衔接部附近放大之后的图。图14是表示总线电极与隔壁的线宽度差测量结果的图。图15是表示利用了图14所示的前面板与背面板的情况下的亮度差的计算值和实测值的图。具体实施例方式如图I所示，PDP100由前面板I与背面板2构成。前面板I和背面板2对置配置。在前面板I与背面板2之间设置放电空间。作为放电气体，向放电空间内封入例如氖(Ne)与氣(Xe)的混合气体。前面板I在玻璃制的前面基板3上具有多个扫描电极4和多个维持电极5。扫描电极4与维持电极5被设置为平行。进而，在前面基板3设置有覆盖扫描电极4及维持电极5的电介质层6。电介质层6上设置有由氧化镁(MgO)等构成的保护层7。扫描电极4具有透明电极4a和层叠于透明电极4a上的总线电极4b。维持电极5具有透明电极5a和层叠于透明电极5a上的总线电极5b。背面板2在玻璃制的背面基板8上设置有多个数据电极10。进而，背面基板8上设置有覆盖数据电极10的基底电介质层9。基底电介质层9上设置有对放电空间进行划分的多个隔壁U。作为一例，隔壁11是具有纵隔壁21以及与纵隔壁21正交的横隔壁22的井沿形状。在多个隔壁11之间设置有荧光体层12。在从正面观察ropioo的情况下，数据电极10和扫描电极4及维持电极5交叉。在扫描电极4及维持电极5和数据电极10的交叉部分形成多个放电单元。另外，为了提高对比度，扫描电极4与维持电极5之间也可以设置黑色的遮光层13。此外，PDP100并未限于上述构成。例如，也可以是包括带状隔壁11的构成。再有，图I中示出了交替地排列扫描电极4与维持电极5的例子。但是，也可以像扫描电极4、维持电极5、维持电极5、扫描电极4那样排列的电极排列的构成。通过光刻法，在前面基板3上形成扫描电极4及维持电极5。详细内容后述。接着，形成电介质层6。电介质层6的材料利用的是包含电介质玻璃料、树脂与溶·剂等的电介质膏剂。首先，通过压模涂敷法等，以规定的厚度按照覆盖扫描电极4及维持电极5的方式在前面基板3上涂敷电介质膏剂。接着，通过干燥炉，除去电介质膏剂中的溶剂。最后，通过烧成炉，以规定的温度烧成电介质膏剂。也就是说，除去电介质膏剂中的树脂。再有，电介质玻璃料软化。软化后的电介质玻璃料在烧成后再度固化。通过以上的工序，形成电介质层6。在此，除了对电介质膏剂进行压模涂敷的方法以外，还可以利用丝网印刷法、旋转涂敷法等。再有，也可以不利用电介质膏剂而是通过CVD (Chemical Vapor Deposition)法等来形成成为电介质层6的膜。接着，在电介质层6上形成由氧化镁(MgO)等构成的保护层7。作为一例，藉由EB (Electron Beam)蒸镀装置来形成保护层7。保护层7的材料为单晶体的MgO构成的小球(pellet)。在小球中，也可以进一步添加招(Al)、娃(Si)等作为杂质。首先，对被配置于EB蒸镀装置的成膜室内的小球照射电子束。接受了电子束的能量的小球蒸发。蒸发后的MgO附着于被配置在成膜室内的电介质层6上。根据电子束的强度、成膜室的压力等，将MgO的膜厚调整为收敛在规定的范围内。另外，保护层7除了 MgO以外，还可以利用与氧化钙(CaO)的混合膜、或者包含氧化锶(SrO)、氧化钡(BaO)、氧化铝(Al2O3)等金属氧化物的膜。再有，也可以利用包含多种金属氧化物的膜。通过以上的工序，在前面基板3上具有扫描电极4、维持电极5、电介质层6及保护层7的前面板I完成。如图I所示，通过光刻法在背面基板8上形成数据电极10。数据电极10的材料利用的是包含用于确本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛彻，上田健太郎，小林宏史，濑户信行，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：